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昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
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Edwards有源離子真空計(jì)(AIGX)是緊湊型有源離子真空計(jì),配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲,測(cè)量范圍極廣,從5x10-2到5x10-10Torr(6.6x10-2到6.6x10-10mbar),并且提供1V/decade線性輸出
Edwards 有源離子真空計(jì) (AIGX) 是緊湊型有源離子真空計(jì),配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲,測(cè)量范圍極廣,從 5 x 10-2 到 5 x 10-10Torr(6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar),并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards AIGX 具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測(cè)量概念的所有優(yōu)勢(shì),同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)擁有脫氣裝置,而且具備保護(hù)和延長(zhǎng)燈絲使用壽命的功能。得益于極低的帶電微粒輻射,AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的Z佳選擇。
Edwards 有源離子真空計(jì) (AIGX) 是緊湊型有源離子真空計(jì),配備兩根氧化釔覆膜的銥燈絲,測(cè)量范圍極廣,從 5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr(6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar),并且提供 1 V/decade 線性輸出。Edwards AIGX 具備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的有源壓力測(cè)量概念的所有優(yōu)勢(shì),同時(shí)集成了電子器件和可更換的管件。該真空計(jì)擁有脫氣裝置,而且具備保護(hù)和延長(zhǎng)燈絲使用壽命的功能。得益于極低的帶電微粒輻射,AIGX 成為不能有背景噪聲的制程的Z佳選擇。
全面的 8 decade 測(cè)量功能,可達(dá) 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
有兩種款型可用,每一種又有三種真空聯(lián)軸器變型:
“D"型具有 9 針“D"接頭盒標(biāo)準(zhǔn)接口;
“S"型具有增強(qiáng)的功能,與 Edwards 的各種控制器兼容。
與主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比,帶電粒子制程污染減少了 30%。
自動(dòng)防止在大氣條件下啟動(dòng)燈絲以及在高壓下運(yùn)行或脫氣。
在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)真空計(jì)靈敏度始終保持穩(wěn)定,從而可以在更高壓力下保持輸出精度。
在脫氣過程中可以連續(xù)進(jìn)行壓力測(cè)量輸出。
創(chuàng)新性設(shè)計(jì)消除了 X 射線限制的影響。
雙色 LED 提供真空計(jì)狀態(tài)的本地指示。
輸入電壓范圍寬。
電子器件極易拆卸以進(jìn)行Z高達(dá) 200 °C 的加熱。
“S"型提供有無縫的自動(dòng)發(fā)射電流切換,延長(zhǎng)了燈絲壽命。
“S"型提供有診斷輸出,指示“發(fā)射關(guān)閉"、“燈絲燒壞"和“過壓跳閘",以幫助進(jìn)行故障排除。
“S"型提供有一個(gè)可以用按鈕調(diào)整的設(shè)定點(diǎn)。
壓力范圍 | 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar |
(5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr) | |
電源供給 | +14.5 至 +30.0 V 直流 |
功耗 | 正常工作:7W(Z大), |
脫氣:14W(Z大) | |
輸出信號(hào) | 線性,1 V / decade |
響應(yīng)時(shí)間 | 1.33 x 10-8 mbar |
(>10-8 Torr) ? 100 ms | |
1.33 x 10-8 mbar | |
(<10-8 Torr) ? 1-2 s | |
Z大電壓 | 30 V(直流) |
Z大電流 | 100 mA(Z大) |
工作環(huán)境 | 干燥的非導(dǎo)電性大氣 |
溫度范圍 | |
工作溫度 | 0 至 +40 °C |
存儲(chǔ)溫度 | -30 至 +70 °C |
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