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      昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司


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      BAG402 中真空至超高真空真空計(jì)

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      參  考  價(jià)面議
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:張小姐,李先生查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2022-11-28 12:32:56瀏覽次數(shù):130次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:203條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:張小姐,李先生

      產(chǎn)品簡介

      BAG402中真空至超高真空真空計(jì)INFICON的單一Bayard-Alpert熱電離真空計(jì)BAG402,測量范圍從5×10-10mbar至2.7×10-2mbar(3.75×10-10Torr至5×10-2Torr)

      詳細(xì)介紹

      BAG402 中真空至超高真空真空計(jì)

      INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402,測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝,在低成本、可重復(fù)的工藝過程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測量。的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長期穩(wěn)定性 和長使用壽命。

      BAG402.png

      益處

      • 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)

      • 出色的可重復(fù)性,在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%

      • 過壓檢測保護(hù),防止燈絲燒毀

      • 兩根長壽命氧化銥燈絲

      • 發(fā)射電流選擇,降低控制的繁瑣

      • 植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準(zhǔn)性,并且易于更換

      • 符合RoHS

      典型應(yīng)用

      • 半導(dǎo)體工藝和傳送腔室的壓強(qiáng)測量

      • 工業(yè)鍍膜

      • 從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制

      規(guī)格

      類型BAG402
      測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2)5×10-10 … 2.7×10-2
      精度
      10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
      重復(fù)性
      10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
      除氣 (1)
      p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
      壓強(qiáng), Z大bar (absolute)2
      溫度
      操作 (環(huán)境)°C0 … +50
      儲(chǔ)存°C-20 … +70
      法蘭口的烘烤,不帶BPG402-S電子單元°C80
      供電電壓+20 … +28
      輸出信號(hào)模擬 (4)
      輸出信號(hào)V0 … +10
      測量范圍 log / linV0 … +9
      電壓 vs. 壓強(qiáng)volts per decade1
      錯(cuò)誤信號(hào)V> +10
      負(fù)載阻抗, Z小k?10
      第二模擬輸出
      none
      設(shè)點(diǎn)繼電器
      設(shè)定點(diǎn)數(shù)量
      none
      范圍

      繼電器觸點(diǎn)

      滯后

      觸點(diǎn)額定值

      數(shù)字功能
      degas and emission
      接口 (數(shù)字) (2)
      Diagnosis port
      發(fā)射控制
      manual
      燈絲
      two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
      燈絲狀態(tài) / 繼電器
      LED / relay
      電氣連接
      D-Sub, 9-pin, male
      電纜長度,Z大值m (ft.)100 (330)
      暴露于真空中的材料
      Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
      內(nèi)部容積 KF / CFcm3 (in.3)24 (1.46) / 34 (2.1)
      重量 KF / CFg450 / 710
      保護(hù)級(jí)別
      IP30

      1)除氣期間準(zhǔn)確性降低

      2)不可同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

      零件號(hào)

      BAG402
      零件號(hào)明細(xì)
      353-600BAG402 DSUB9 KF25
      353-601BAG402 DSUB9 CF40

      附件

      BAG402
      零件號(hào)明細(xì)

      303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)

      備件

      BAG402
      零件號(hào)明細(xì)
      354-484備用傳感器 BAG402 DN 25 ISO-KF
      354-485備用傳感器 BAG402 DN 40 CF-R



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