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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司


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      BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號(hào)

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:張小姐,李先生查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2022-11-28 12:31:41瀏覽次數(shù):145次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:203條

      所在地區(qū):

      聯(lián)系人:張小姐,李先生

      產(chǎn)品簡介

      BPG400大氣壓至超高真空真空計(jì)INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中,測量范圍從5×10-10毫巴至大氣壓(3.8×10-10托至大氣壓)

      詳細(xì)介紹

      BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

      BPG40x tiba15_31.png

       

      INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型復(fù)合真空計(jì)將兩種真空計(jì)的功能融合到一個(gè)緊湊的裝置中,測量范圍從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)。 多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。 選擇BPG400真空計(jì),價(jià)格經(jīng)濟(jì),且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。

      益處

      • 測量范圍非常廣,從 5×10-10 毫巴至大氣壓(3.8×10-10 托至大氣壓)

      • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性

      • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染

      • 使用壽命長的氧化釔銥絲

      • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口

      • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)

      • RoHS 合規(guī)

      • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

      典型應(yīng)用

      • 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

      • 工業(yè)鍍膜

      • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

      規(guī)格

      類型BPG400
      測量范圍(空氣、O2、CO、N25×10-10 … 1000
      精度
      10-8 … 10-2 毫巴% of reading±15
      可重復(fù)性
      10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
      除氣 (1)
      p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
      壓力,Z大bar (absolute)2
      溫度
      運(yùn)行(環(huán)境)°C0 … +50
      貯存°C-20 … +70
      在法蘭處烘烤,有延伸件°C150
      在法蘭處烘烤,無延伸件°C80
      移除烘烤電子設(shè)備°C150
      電源電壓+20 … +28
      輸出信號(hào)模擬
      輸出信號(hào)V0 … +10
      測量范圍V+0.774 … +10
      電壓與壓強(qiáng)volts per decade0.75
      錯(cuò)誤信號(hào)V0.3 / 0.5
      Z小負(fù)載電阻k?10
      接口(數(shù)字)(2)
      RS232C
      電氣連接
      D-Sub, 15-pin, male
      電纜長度,Z大 (3)m (ft.)100 (330)
      暴露于真空的材料
      Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
      內(nèi)部容積 KF / CFcm3 (in.3)24 (1.46) / 34 (2.1)
      重量 KF / CFg285 / 550
      保護(hù)等級(jí)
      IP30
      Profibus DP
      波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
      地址
      2 switches (address 00 - 127) or network programmable
      數(shù)字功能
      read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
      模擬功能
      0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量
      2
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍mbar1×10-9 … 100
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn)
      n.o., potential free
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后% of reading10
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值60
      Profibus DP 連接器
      D-Sub, 9-pin, female
      BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器
      D-Sub, 15-pin, male
      DeviceNet™
      協(xié)議
      DeviceNet™, group 2 slave only
      數(shù)據(jù)率開關(guān)kBaud125, 250, 500 or network programmable
      電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
      電纜長度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
      電纜長度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
      MAC ID
      2 switches (address 00 - 63) or network programmable
      數(shù)字功能
      read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
      模擬功能
      0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
      技術(shù)規(guī)格
      DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
      設(shè)備類型
      ''CG'' for combination gauge
      I / O 從屬傳訊
      polling only
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量
      2
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 范圍mbar1×10-9 … 100
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 繼電器觸點(diǎn)
      n.o., potential free
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 滯后% of reading10
      設(shè)定點(diǎn)繼電器: 觸點(diǎn)額定值60
      DeviceNet™ 電源電壓+11 … +25
      真空計(jì)電源電壓+20 … +28
      DeviceNet™ 連接器
      Microstyle, 5-pin
      BPG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn))連接器
      D-Sub, 15-pin, male

      1) 除氣期間降低精度

      2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列,不允許使用現(xiàn)場總線

      3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m

      零件號(hào)

      BPG400
      零件號(hào)明細(xì)
      353-500BPG400 規(guī)管
      353-500-11BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
      353-500-I0BPG400規(guī)管
      353-502-ABPG400規(guī)管
      354-498Spare electronic BPG400 without Display
      354-499Spare electronic BPG400 with Display
      353-501BPG400 規(guī)管
      353-502BPG400 規(guī)管
      353-503BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
      353-505復(fù)合真空規(guī)
      353-506BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
      353-507BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
      353-508BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

      附件

      BPG400
      零件號(hào)明細(xì)
      353-510100 mm sensor extension tube


      353-512Baffle for BPG400

      211-113中心圈 with baffle DN 25 KF


      備件

      BPG400
      零件號(hào)明細(xì)
      354-490BPG400 備用傳感器
      354-491BPG400 備用傳感器



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