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昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2022-11-28 12:14:49瀏覽次數(shù)：222次
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EdgeCDG045D21…1000托/毫巴INFICONEdge電容膜片真空計(jì)屬于高精準(zhǔn)真空測(cè)量?jī)x器，專(zhuān)為苛刻的生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)
INFICON Edge 電容膜片真空計(jì)屬于高精準(zhǔn)真空測(cè)量?jī)x器，專(zhuān)為 苛刻的生產(chǎn)環(huán)境而設(shè)計(jì)。經(jīng)驗(yàn)證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可長(zhǎng)期提供 的滿(mǎn)量程穩(wěn)定性和的零點(diǎn)穩(wěn)定性。Edge 采用 INFICON 獲得的 傳感器屏蔽，可保護(hù)真空計(jì)在使用過(guò)程中產(chǎn)生不需要的附帶結(jié)果。 的電子設(shè)備為所有應(yīng)用提供各種可配置的信號(hào)條件以及可選的 EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線接口。 創(chuàng)新的加熱概念確保了冰涼的接觸表面并節(jié)省了寶貴的工具空間。 INFICON Edge 是同類(lèi)產(chǎn)品中體積Z小的真空測(cè)量?jī)x器。
設(shè)計(jì)緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成，EtherCAT，各種滿(mǎn)刻度和法蘭，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號(hào)調(diào)零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
診斷端口用于快速維修和維護(hù)
兩年保修服務(wù)，的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是Z苛刻的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)性與標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導(dǎo)體制造過(guò)程
| 類(lèi)型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 |
| 溫度效應(yīng) | |||
| 零點(diǎn) | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 |
| 滿(mǎn)量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 |
| 壓力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 |
| Z低讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 |
| 建議的Z低讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 |
| 建議的Z低控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | |||
| 傳感器 | °C | 45 | 45 |
| 運(yùn)行（環(huán)境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | |||
| 加熱時(shí) | W | ≤15 | ≤15 |
| 運(yùn)行溫度 | W | ≤10 | ≤10 |
| 輸出信號(hào)（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應(yīng)時(shí)間 (2) | ms | 30 | 30 |
| 保護(hù)等級(jí) | IP 40 | IP 40 | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | |||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認(rèn)證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 設(shè)定點(diǎn) | |||
| 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點(diǎn) | ≤30 | ≤30 | |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 |
| 診斷端口 | |||
| 協(xié)議 | RS232-C | RS232-C | |
| 讀數(shù) | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) | |
| 內(nèi)部容積 | |||
| 內(nèi)部容積 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內(nèi)部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | |||
| 重量 1/2'' 管 | g | 837 | 837 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 852 | 852 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 875 | 875 |
| 重量 8 VCR® | g | 897 | 897 |
| EtherCAT | |||
| 協(xié)議 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 通訊標(biāo)準(zhǔn) | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 數(shù)據(jù)率 | Kbps | 100000 | 100000 |
| 節(jié)點(diǎn)地址 | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | |
| 物理層 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 數(shù)字功能讀取 | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 數(shù)字功能設(shè)置 | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, reset, DC offset | |
| 過(guò)程數(shù)據(jù) | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 郵箱 (CoE) | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | |
| EtherCAT 連接器 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 電纜 | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 電纜長(zhǎng)度 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
(1) 25 °C 環(huán)境溫度時(shí)非線性、滯后、可重復(fù)，運(yùn)行 2 小時(shí)后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 僅適用于壓力控制類(lèi)型
(4) 18% 鉻，10% 鎳，3% 鉬，69% 鐵
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