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昆山熙日機械設備有限公司
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更新時間：2022-11-27 12:54:23瀏覽次數(shù)：336次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)SKY®CDG025D0.1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG025D電容隔片真空計系列的高精度溫度補償型壓力計可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能
INFICON SKY CDG025D 電容隔片真空計系列的高精度 溫度補償型壓力計可以在惡劣的 生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定性能。 高級數(shù)字電子元件用于改進 真空計的性能，具有一鍵調(diào)零功能 和設定點調(diào)整等易于操作的特性。 防腐蝕超純陶瓷傳感器提供 優(yōu)異的零點穩(wěn)定性， 預期使用壽命長達數(shù)百萬次壓力循環(huán)（包括氣壓突變）。 的傳感器屏蔽（正在申請）用于保護 真空計，使其免受加工污染。 堅固的機械設計和數(shù)字 電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩(wěn)定性和溫度 補償。 CDG025D 電容隔片真空計為開機后快速穩(wěn)定 以及從大氣氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。
全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復
防腐陶瓷傳感器
的長期信號穩(wěn)定性
溫度補償
傳感器防污染保護
一鍵調(diào)零功能
電源范圍廣
用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產(chǎn)設備
數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備
工業(yè)真空設備
常規(guī)高精度壓力測量
| 類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應 | ||||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 壓力，Z大 | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反應時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 |
| Z低讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的Z低讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的Z低控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||||
| 運行（環(huán)境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法蘭處烘烤 (3) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保護等級 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 標準 | ||||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | D-sub, 15 pole, male | |
| 設定點 (4) | ||||||
| 設定點數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70(5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass | |
| 內(nèi)部容積 | ||||||
| 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| 8 VCR® | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | ||||
| 重量 | ||||||
| 1/2'' 管 | g | |||||
| DN 16 ISO KF | g | |||||
| DN 16 CF-R | g | |||||
| 8 VCR® | g | |||||
(1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復，運行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應。
(2) 增加 10 … 90 % FS
(3) 非運行
(4) 僅適用于 CDG025D-S
(5) 28% 鎳、23% 鈷、49% 鐵
(6) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵
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