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      MicroChem 電子束光刻膠 PMMA

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      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地深圳市

      聯(lián)系方式:林經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時(shí)間:2024-04-01 07:41:34瀏覽次數(shù):125次

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      聯(lián)系人:林經(jīng)理

      產(chǎn)品簡(jiǎn)介

      PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種通用的聚合材料,適用于許多成像和非成像微電子系統(tǒng)。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中,曝光會(huì)導(dǎo)致聚合物鏈斷裂。PMMA作直寫(xiě)式電子束的高分辨率正性光刻膠,它具有的分辨率,易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護(hù)涂層,粘結(jié)粘合劑和刻蝕層。

      詳細(xì)介紹

      PMMA正性光刻膠

      PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種通用的聚合材料,適用于許多成像和非成像微電子系統(tǒng)。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中,曝光會(huì)導(dǎo)致聚合物鏈斷裂。PMMA作直寫(xiě)式電子束的高分辨率正性光刻膠,它具有的分辨率,易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護(hù)涂層,粘結(jié)粘合劑和刻蝕層。

      材料用途:

      • 晶圓減薄

      • 防護(hù)涂料

      • PHEMT

      • 多層T門工藝

      • 其他直寫(xiě)式電子束工藝

      MicroChem PMMA電子束光刻膠 495PMMA 950PMMA

      材質(zhì)屬性:

      • 正調(diào)

      • 電子束和X射線可成像

      • 膜厚范圍廣

      • 對(duì)大多數(shù)基材具有出色的附著力

      共聚物光刻膠是基于PMMA和?8.5%甲基丙烯酸的混合物。共聚物MMA(8.5)通常與PMMA結(jié)合使用在雙層剝離抗蝕劑工藝中,該工藝需要獨(dú)立控制CD尺寸和每個(gè)光刻膠層的形狀。標(biāo)準(zhǔn)共聚物光刻膠是在乳酸乙酯中配制的,并且可以在很寬的膜厚范圍內(nèi)使用。


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