Phasics公司基于其創(chuàng)新的高分辨率波前傳感技為客戶提供的測量和成像解決方案，以滿足激光工程師，鏡片生產(chǎn)商和細胞生物學(xué)家的需求。
基于四波橫向剪切的波前傳感器的工作波長范圍從紫外到遠紅外，典型的應(yīng)用包括激光束測量和校正以及透鏡測試?；谒牟M向剪切的波前傳感器具有高的分辨率，也為波前分析的創(chuàng)新應(yīng)用開辟了新的道路，如等離子體密度測量或定量相位成像顯微鏡，如生命科學(xué)、材料檢驗和熱成像。
法國Phasics公司擁有自主研發(fā)的波前傳感器，這種儀器是基于四波橫向剪切干涉技術(shù)而設(shè)計的。SID4系列波前探測器與傳統(tǒng)的夏克-哈特曼波前探測器比較，法國Phasics波前分析儀具有高動態(tài)檢測范圍、消色差、高分辨率、消色差、操作簡便，高靈敏度等優(yōu)勢?？梢韵虿ㄇ盎?、波前相差探測以及光束質(zhì)量及波前參數(shù)的測量、分析；眼科的虹膜定位以及波前像差引導(dǎo)等提供了完整的優(yōu)秀的解決方案！PHASICS波前探測器軟件界面具有易用性，能夠明了的輸出高分辨率的相位圖和光束強度的分布圖。
本文的產(chǎn)品主要有：適用于常用波段的SID4波前傳感器; 用于紅外波段的型號：SID4 DWIR, SID4 LWIR, SID4-SWIR, SID4-NIR; 高分辨率的SID4 UV-HR, SID4-HR； 最后是深紫外波段的SID4-UV和SID4 UV-HR。所有的波段都能夠有適合的產(chǎn)品為您提供，并且有高采樣點的型號和普通標準的型號等等。
法國Phasics SID4 波前傳感器的特點：
SID4可用于400nm-1000nm 的激光的波前像差，強度分布，波前位相、澤尼克參數(shù), 激光的M2等進行實時的測量及參數(shù)輸出。
-可直接測量：消色差設(shè)計，測量前無需再次對波長校準，消色差：干涉和衍射對波長相消
-高分辨率：最多采樣點可達120000個（160x120），測量穩(wěn)定性高
-內(nèi)部光柵橫向剪切干涉，防震設(shè)計，無需隔震平臺也可測試，對實驗條件要求簡單
-高動態(tài)范圍：高達500μm
-波長范圍：400-1100nm
SID4 UV-HR高分辨紫外波前傳感器的特點：
Phasics公司將 SID4的測量波長范圍:190nm-400nm。SID4 UV-HR是一款適用于紫外波段的高分辨率波前探測器,非常適用于光學(xué)元件測量（例如印刷、半導(dǎo)體等等）和表面檢測（半導(dǎo)體晶片檢測等）。
-高分辨率（250x250）
-通光孔徑大（8.0mmx8.0mm）
-覆蓋紫外光譜
-靈敏度高（0.5um）
-優(yōu)化信噪比
SID4-HR 波前相差儀特點：
能夠進行對透鏡、光學(xué)系統(tǒng)實時的PSF（點擴散函數(shù)）、OTF（光學(xué)傳遞函數(shù)）、MTF（調(diào)制傳遞函數(shù)）以及波前像差測量和參數(shù)輸出。與傳統(tǒng)的透鏡檢測設(shè)備比較：干涉儀，傳函儀、具有測量精度高，操作簡便，參數(shù)輸出方便等優(yōu)勢。
-曝光時間極短,保證動態(tài)物體測量
-波長范圍：400-1100nm
-實時測量，立即給出整個物體表面的信息（120000個測量點）
-高性能的相機，信噪比高，操作簡單
SID4 NIR 波前分析儀
其主要針對1550 nm（1.5um-1.6um）激光進行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等的優(yōu)勢。是紅外透鏡像差，光學(xué)測量和紅外物體、MTF，PSF以及焦距和表面質(zhì)量測量的理想工具。
-高分辨率（160x120）
-快速測量
-測量
-對振動不敏感
-性價比高
SID4 UV 波前分析儀
其主要針對250-450nm激光進行檢測的儀器，具有分辨率高，高動態(tài)范圍、高靈敏度、操作簡便等的優(yōu)勢。適用于UV光學(xué)測試，UV激光表征（用于光刻，半導(dǎo)體......）和表面檢測（透鏡和晶圓......）光學(xué)測量和MTF，PSF以及焦距測量。
-非常高的分辨率-250×250相位圖
-高靈敏度 - 2 nm RMS
-經(jīng)濟實惠的紫外波前測量解決方案
SID4 DWIR/ SID4 LWIR/ SID4-SWIR波前儀
擁有寬波段波前探測的特點。實時的檢測3-5um以及8-14um的強度分布和波前位相等的波前信息?？梢院芎玫膽?yīng)用于紅外波段應(yīng)用的波前檢測需求。
-光學(xué)測量：SID4 DWIR是測量紅外物體特性（熱成像和安全視覺）或紅外透鏡（CO2激光器）的理想工具，輸出結(jié)果包括MTF，PSF，像差，表面質(zhì)量和透鏡焦距。
-光束測量：（CO2激光器，紅外OPO激光光源等等）此型號可以提供詳盡的光束特性參數(shù)：M2，像差，光束特性，光強分布等
-可實現(xiàn)離軸測量，可實現(xiàn)測量，性價比高
-高分辨率（96x72，快速測量 對振動不敏感
-可覆蓋中紅外和遠紅外波段 大數(shù)值孔徑測量，無需額外中轉(zhuǎn)透鏡
法國Phasics波前相差儀主要應(yīng)用：
-光學(xué)系統(tǒng)質(zhì)量分析：MTF, PSF, EFL, 澤尼克系數(shù), 光學(xué)鏡頭/系統(tǒng)質(zhì)量控制
-激光光束參數(shù)測量：相位（2D/3D），M2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)
-生物應(yīng)用：蛋白質(zhì)等組織定量相位成像
-自適應(yīng)光學(xué)：焦斑優(yōu)化，光束整形
-熱成像分析，等離子體特征分析
-元器件表面質(zhì)量分析：表面質(zhì)量（RMS，PtV，WFE），曲率半徑
法國Phasics波前探測器參數(shù)規(guī)格對比
| 型號 | UV | SID4 V | SID4 | SID4-HR | NIR | SWIR | SWIR-HR | eSWIR | DWIR | LWIR |
| 光譜范圍 | 250-400nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 400-1100nm | 1.5-1.6μm | 0.9-1.7μm | 0.9-1.7μm | 1.0-2.35μm | 3-5μm & 8-14μm | 8-14μm |
| 孔徑大小mm2 | 7.4x7.4 | 4.73x3.55 | 4.73x3.55 | 11.84x8.88 | 4.73x3.55 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 9.6x7.68 | 10.08x8.16 | 16x12 |
| 空間分辨率μm | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 29.6 | 120 | 60 | 120 | 68 | 100 |
| 相位采樣(像素) | 250x250 | 160x120 | 160x120 | 400x300 | 160x120 | 80x64 | 160x128 | 80x64 | 160x120 | 160x120 |
| 相位精度（nm RMS） | 10 | 15 | 10 | 15 | 15 | 15 | 15 | <40 | 75 | 75 |
| 相位分辨率（nm RMS） | 2 | 2 | 2 | 2 | 11 | 2 | 2 | <6 | 25 | 25 |
夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表
| | Phasics剪切干涉 | 夏克哈特曼 | 區(qū)別 |
| 技術(shù) | 四波側(cè)向剪切干涉 | 夏克-哈特曼 | PHASICS SID4是對夏克-哈特曼技術(shù)的改進，投放市場時，已經(jīng)申請技術(shù)，售出超過500個探測器。 |
| 重建方式 | 傅里葉變換 | 分區(qū)方法（直接數(shù)值積分）或模式法（多項式擬合） | 夏克-哈特曼波前探測器，以微透鏡單元區(qū)域的平均值來近似。對于大孔徑的透鏡單元，可能會增加信號誤差，在某些情況，產(chǎn)生嚴重影響。在分區(qū)方法中，邊界條件很重要。 |
| 光強度 | 由于采用傅里葉變換方法，測量對強度變化不敏感 | 由于需要測量焦點位置，測量對強度變化靈敏 | 關(guān)于測量精度，波前測量不依賴于光強度水平 |
| 使用、對準方便 | 界面直觀，利用針孔進行對準 | 安裝困難，需要精密的調(diào)節(jié)臺 | SID4 產(chǎn)品使用方便 |
| 取樣（測量點） | SID4-HR達300*400測量點 | 128*128測量點（微透鏡陣列） | SID4-HR具有很高的分辨率。這使得測量結(jié)果更可靠，也更穩(wěn)定 |
| 數(shù)值孔徑 | SID4 HR NA：0.5 | 0.1 | SID4-HR動態(tài)范圍更高 |
| 空間分辨率 | 29.6μm | >100μm | SID4-HR空間分辨率更好 |
| 靈敏度 | 2nmRMS | 約λ/100 | SID4-HR具有更好的靈敏度 |
總體而言，在空間分辨率和靈敏度而言基于剪切干涉技術(shù)的波前分析儀都比夏克哈特曼為基礎(chǔ)的波前分析儀要更為優(yōu)秀。采樣點更多，準確度更高分辨率也更高。安裝便捷，配套的軟件功能豐富。基于傅里葉變換，將時域轉(zhuǎn)換為頻域分析使得其不依賴光強變化，更加的敏感，但可能不能估計光強的變化。一定條件下，它是選擇作為激光質(zhì)量分析，透鏡質(zhì)量監(jiān)控，光學(xué)表面測量，以及成像的更優(yōu)選擇。
