場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 FE-1050系列

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南北儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

● 在電子光學(xué)鏡筒的加持下，展現(xiàn)低電壓、高分辨。

● 27個(gè)端口拓展、大艙室，輕松應(yīng)對(duì)各類(lèi)成像、分析需求。

● 簡(jiǎn)化操作、自動(dòng)化交互、智能化特征識(shí)別統(tǒng)計(jì)，提高工作效率。

技術(shù)規(guī)格：

型號(hào)		FE-1050系列
1.電子光學(xué)系統(tǒng)
電子qiang		Schottky 場(chǎng)發(fā)射型
物鏡類(lèi)型		非浸沒(méi)電磁復(fù)合透鏡
加速電壓		0.02-30KV
束斑電流		10pA 至 30nA（100nA 選配）
放大倍數(shù)		10x - 1,000, 000x
分辨率	SE	1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)
	BSE(選配)	2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)
	STEM	0.8nm（30KV）
2.真空系統(tǒng)
離子泵（IGP）		25 L/s+2X20L/s
渦輪分子泵（TMP）		250 L/s (N2)
前級(jí)真空泵		15m³/h 機(jī)械泵、無(wú)油渦旋機(jī)械泵（選配）
電子qiang真空		<1.0x10-7 Pa
主樣品室真空		<1.0x10-4 Pa
樣品室接口數(shù)		27 個(gè)
預(yù)抽室		50mm 樣品托盤(pán)自動(dòng)送樣 4/6 英寸晶圓自動(dòng)送樣（選配）
		預(yù)抽室光學(xué)導(dǎo)航
3.樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
樣品臺(tái)行程	X	140mm
	Y	140mm
	Z	60mm
	R	連續(xù) 360°
	T	-10°~80°
重復(fù)定位精度		X/Y/Z≤1um（選配）
樣品承重		5kg
4.圖像處理系統(tǒng)
駐留時(shí)間		20ns
采集方式		4 通道同步采集
圖像分辨率		24kx24k 像素
5.數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
CPU		Intel Xeon E5 及以上處理器
內(nèi)存		32G
顯卡		顯存≥24G，位寬≥384bit
顯示器		34 英寸超寬屏顯示器
控制臺(tái)		人體工程學(xué)可升降操控臺(tái)
6.探測(cè)器系統(tǒng)
檢測(cè)器		In-Column SE 探測(cè)器 ET- SE 探測(cè)器插入式 BSE 探測(cè)器（選配） STEM 探測(cè)器（選配）紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路
附件（選配）		斜插式能譜儀（EDS）平插式能譜儀（Flat-EDS）波譜儀（WDS）電子背散射衍射儀（EBSD）熒光探測(cè)器（CL）聚焦離子束（FIB）原位拉伸加熱臺(tái)/制冷臺(tái) 冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉(cāng)等第三方附件設(shè)備

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡圖像處理處理器顯示器探測(cè)器

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