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HORIBA
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液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器 LF-F/LV-F 系列

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

液體微小質(zhì)量流量計(jì)/控制器 LF-F/LV-F 系列

詳細(xì)介紹

概要
規(guī)格
備件

概要

搭載冷卻檢測(cè)方式的質(zhì)量流量傳感器

特征

通過(guò)采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。

可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。

可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類(lèi)型

規(guī)格

名稱(chēng)	質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測(cè)控制范圍	5?99% F.S.
對(duì)象液體種類(lèi) *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線(xiàn)性 *3	±0.5% F.S.
重復(fù)性 *3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以?xún)?nèi) (T98)		2秒以?xún)?nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4	5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響 Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值值 *5	值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥)
耐壓	10MPa (視為流量計(jì))
壓力損失	值. 500Pa
流量設(shè)定信號(hào)	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號(hào)	模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動(dòng)電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質(zhì)	SUS316L, Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭	1/16" ， 1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型			1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型	1/4" SWL類(lèi)型 1/4" VCR 類(lèi)型

名稱(chēng)	質(zhì)量流量控制器
型號(hào)	LV-F20 (PO/MO)	LV-F30 (PO/MO)	LV-F40 (PO/MO)	LV-F50 (PO/MO)	LV-F60 (PO/MO)
全標(biāo)度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測(cè)控制范圍	5?99% F.S.
對(duì)象液體種類(lèi) *1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度 *2	值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度 *3	±1% F.S.
直線(xiàn)性 *3	±0.5% F.S.
重復(fù)性 *3	±0.5% F.S.
響應(yīng)精度	3秒以?xún)?nèi) (T98)		2秒以?xún)?nèi) (T98)
使用環(huán)境溫度 *4	5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃　值±1%
工作差壓值 *5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設(shè)定信號(hào)	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號(hào)	模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動(dòng)電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格	PO 類(lèi)型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類(lèi)型： 5×10-12Pa?m3/s (He)
接液部材質(zhì)	PO 類(lèi)型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA　MO 類(lèi)型： SUS316L，Ni
標(biāo)準(zhǔn)接頭	1/16" ， 1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型			1/8" SWL類(lèi)型， 1/8" VCR 類(lèi)型	1/4" SWL類(lèi)型 1/4" VCR 類(lèi)型

*1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先所使用的液體。)
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)*行咨詢(xún)協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。
*2： LF-F類(lèi)型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到值， 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)*行咨詢(xún)協(xié)商。
*3：以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4：進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以?xún)?nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

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關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量計(jì) 流量計(jì) 流量控制器控制器顯示器

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