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塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司
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更新時(shí)間:2023-09-20 08:01:03瀏覽次數(shù):231次
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簡(jiǎn)單介紹: ■ 手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)?!?依照不同需求以及成本考量?有準(zhǔn)直儀型?多面鏡型?整合(積算器)型三種曝光光源?!?有可對(duì)應(yīng)5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機(jī)種。■ Mask Holder?載臺(tái)的更換作業(yè)簡(jiǎn)單易行,可在1分鐘內(nèi)完成,適合用于研究開(kāi)發(fā)?!?對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的對(duì)物鏡可對(duì)應(yīng)高對(duì)準(zhǔn)精度或厚膜等用途,并且有4×、10×、20×三種。
■ 共通規(guī)格
接觸方法 | 軟性接觸/ 硬性接觸( 部分選配) |
對(duì)準(zhǔn)精度 | 使用對(duì)物鏡20×?xí)r<1.2μm(M-1S除外) |
對(duì)準(zhǔn)顯微鏡 | 雙視野顯微鏡 對(duì)物鏡間隔18~60mm |
曝光波長(zhǎng) | 多頻率(h.i.g線) |
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