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塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司
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更新時間:2023-07-15 13:53:45瀏覽次數(shù):410次
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簡單介紹: 主要特長除近接曝光外,還可對應(yīng)接觸曝光(軟接觸和硬接觸)可對應(yīng)幅度為500mm以上的大型膠片。采用獨自的光學(xué)系統(tǒng),可選擇單面曝光或雙面曝光。還能進行一燈式雙面曝光。裝載有自動對位功能。通過特殊照明實現(xiàn)透明材料的對位。除Roll to Roll外可設(shè)計枚葉式搬送等機構(gòu),根據(jù)客戶的需要構(gòu)成裝置??蛇x擇基板臺溫度控制及掩膜冷卻規(guī)格等。(選購項)
光刻機介紹
曝光裝置 MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW
曝光裝置 MA-1400 基板追大尺寸400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″
光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW
?200mm/?150 mm 對應(yīng)曝光裝置MA-4301M 材料SI 玻璃, 對齊精度自動對齊:+/- 1 μm(
峰值搜索)
?300mm對應(yīng)曝光裝置MA-5301ML 光源超高壓汞燈:3.5kW ?200mm規(guī)格也可對應(yīng)
マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
マスクレス露光裝置MX-1201E 曝光掃描速度22.5mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135
マスクレス露光裝置MX-1205 曝光掃描速度9/4.5mm/s 有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50
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