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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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								更新時(shí)間：2022-10-16 12:44:02瀏覽次數(shù)：234次
							
      
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      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：185條
      
						
      所在地區(qū)：
      
																		
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      等離子清洗機(jī) V1000/1000X/1000XS
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			             13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機(jī)，搭載RIE·DP雙模式
       使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式 高性能型號(hào)，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對(duì)應(yīng) 多種用途。
       特征
       ●  可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
       ●  搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
       ●  可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
       
       用途
       ●  硅晶圓的灰化及蝕刻
       ●  基板表面污垢處理
       ●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
       ●  半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
       ●  自然氧化膜·有機(jī)物去除
       ●  界面活性處理
       ●  表面污染物去除
       
       內(nèi)槽
       
       
       規(guī)格
       
       
        
        型號(hào)  V1000  V1000X  V1000XS 
       
        等離子模式  DP/RIE 
       
        高頻電源  13.56MHz 
       
        輸出功率  Max1000W  Max1000 & 1500W 
       
        有效電極尺寸  W280×D280mm  W300×D300mm  W400×D375mm 
       
        電極  平行平板  2段電極（獨(dú)立）  平板（多目的） 
       
        反應(yīng)氣體  聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝） 
       
        真空泵（標(biāo)配）  約1000L/min  約1500L/min  1000 & 1500L/min 
       
        安全裝置  門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 
              
       
       管路連接圖
       
         
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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