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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
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      深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      PDC-36G 等離子清洗機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：廖勝眉查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2023-02-28 13:41:53瀏覽次數(shù)：195次
							
      
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      簡(jiǎn)要描述：PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前進(jìn)行預(yù)處理，對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用 。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      功能特點(diǎn)
      • 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器；
      • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物；
      • 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好；
      • 鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣；
      • 石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟，大清洗一個(gè)2英寸的基片；
      • 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換；
      • 使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別；低成本、操作安全；
      技術(shù)參數(shù)
      主要參數(shù)
       
      ● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W
      ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W
      ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W
      ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz
      ● 等離子直流電源
      ● 輸入電壓：220V,50Hz
       
      等離子腔室
       
      ● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體，前蓋可以開啟
      ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長(zhǎng)
       
      真空計(jì)
       
      ● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。
       
      可選配件
       
      ● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體，用于備用
      ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情）
      ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片
      ●  
       
      真空泵和閥
       
      ● 此設(shè)備不包含真空泵
      ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息
      ● 
       
      工作氣體
       
      ● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。
      ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體
      ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
       
       
      等離子清洗及刻蝕的方法
       
      外形尺寸
       
      353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
       
      凈重
       
      8kg（不含泵）
       
      認(rèn)證
       
      CE認(rèn)證
       
      質(zhì)保期
       
      ● 一年保修，終身技術(shù)支持。
      ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
                          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
      ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
       
      工作原理
       
      等離子清洗機(jī)工作原理
       
       

                 
                  
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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