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      俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)
      
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								更新時(shí)間：2022-09-13 10:16:37瀏覽次數(shù)：344次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：126條
      
						
      所在地區(qū)：江蘇蘇州市
      
						
      聯(lián)系人：高先生
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
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      詳細(xì)介紹俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)，又稱(chēng)俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
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      俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)



      俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)，又稱(chēng)俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)。基于俄歇電子能譜AES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng)，完成對(duì)薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。





      非接觸式測(cè)量薄膜及合金元素組成。
      帶樣品預(yù)抽真空室 （load-lock腔室）。

      特性：
      -對(duì)原子結(jié)構(gòu)，元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級(jí)”精度
      -大范圍樣品分析
      -半自動(dòng)化操作


      系統(tǒng)特性
      俄歇電子能譜AES分析器
      分析器型號(hào)-延遲型區(qū)域分析器，自帶同軸電子槍
      能量分辨率：<5%
      工作距離 10mm
      檢測(cè)器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道
      安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭（NW63CF)

      電子槍?zhuān)?/span>
      型號(hào) ：帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡
      束流電壓：0-3KV
      束流電流：50uA
      束流直徑：800um
      燈絲：鎢燈絲
      磁罩：帶前置保護(hù)殼的Mu罩

      深度離子濺射槍
      離子源  在磁場(chǎng)內(nèi)電子沖擊形成離子
      離子化陰極  鎢-錸燈絲
      直接安裝于70mmO.D.CF法蘭
      束流電流：10 uA
      束流能量：0-3keV
      束流尺寸;直徑范圍5至25mm
      束流均勻度：<5%
      氣體輸入：經(jīng)過(guò)泄漏閥氣體直接輸入至離子源
      安裝法蘭：23/4英寸（70mm）O.D.CF法蘭

      樣品傳遞操作
      樣品尺寸：尺寸從10mm-20mm
      樣品置入：?jiǎn)蝹€(gè)樣品置入
      樣品傳輸：線型磁動(dòng)樣品傳輸臂

      真空系統(tǒng)
      腔體：100mm焊接超高真空腔體（304不銹鋼）
      真空泵：60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵，配備匹配的前級(jí)泵
      真空規(guī)：寬量程真空規(guī)

      真空兼容：超高真空材料
      烘烤：真空下可烘烤至250度










          
			        
      
			    
      
                                                				
      
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