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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      緊湊型等離子清洗機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)CY-CP
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2022-11-27 12:21:09瀏覽次數(shù)：242次
							
      
							聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
						
      
				
				
      
					
					
      
						
      
                                                        
                                                    
      
						
      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：136條
      
						
      所在地區(qū)：
      
						
      聯(lián)系人：汪紀(jì)彬
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      簡(jiǎn)單介紹：                            緊湊型等離子清洗機(jī)帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器，以及鉸鏈門。適用于各種氣體對(duì)2英寸以下晶圓片的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下，有機(jī)去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機(jī)是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具，可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                     
                   詳情介紹：         
               
                   
       緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn)：  
       
       1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級(jí)有機(jī)污染物，至多可容納2"。
        2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
        3.鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品裝載。
        4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
        5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。  
       
       緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)：  
       
       
        
        
       射頻功率  
             		  
       射頻功率（線圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個(gè)級(jí)別調(diào)節(jié)：  
       
        
        
       低設(shè)置  
             		  
       680V   
             		  
       10 mA   
             		  
       7 W  
             		 
       
        
       中等設(shè)置  
             		  
       700V   
             		  
       15 mA   
             		  
       11 W  
             		 
       
        
       高設(shè)置  
             		  
       720V   
             		  
       25 mA   
             		  
       18 W  
             		 
              
       
       
       
             		 
       
        
       等離子室  
             		  
       ?3"直徑×6.5"長(zhǎng)的石英室  
       
       ?700 mL容量  
       
       ?高純度石英室比玻璃具有更長(zhǎng)的使用壽命  
             		 
       
        
       真空計(jì)和顯示器  
             		  
       ?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。  
       
       ?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。  
       
       ?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。  
             		 
       
        
       真空泵  
             		  
       包括一個(gè)雙級(jí)旋片式真空泵  
             		 
       
        
       輸入功率  
             		  
       AC 208   - 240V, 50/60Hz,單相  
             		 
       
        
       工作氣體  
             		  
       ?可以選擇許多惰性氣體進(jìn)行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。  
       
       ?可以使用<5％H2混合惰性氣體  
       
       ?等離子清潔器不得使用。  
             		 
       
        
       整體尺寸  
             		  
          
       
       
         
       
               
       
       
             		 
       
        
       凈重  
             		  
       40磅  
             		 
       
        
       保證  
             		  
       一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)  
             		 
              
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