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上海福絮實驗室儀器設備廠
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更新時間:2023-09-26 07:04:11瀏覽次數(shù):180次
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HMDS真空烘箱/半導體行業(yè)應用防爆真空型干燥箱各類尺寸可按照客戶的要求定制歡迎詢價!防爆真空干燥箱工作室采用不銹鋼,外殼為優(yōu)質(zhì)鋼板噴塑制成,超細玻璃棉填充內(nèi)外箱夾層做為隔熱保溫層,門上設觀察窗采用雙層玻璃門,內(nèi)層為鋼化玻璃外層為玻璃,或采用全鋼化玻璃,也可采用充填保溫棉門保溫效果更佳。工作室與門之間裝有熱壓成塑的耐熱硅橡膠密封圈以保證箱門與工作室的密封性。
HMDS真空烘箱/半導體行業(yè)應用防爆真空型干燥箱在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS真空烘箱/半導體行業(yè)應用防爆真空型干燥箱特征
1)設備外殼采用科研級不銹鋼316L不銹鋼材質(zhì)制作,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。
2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)保持高真空度。
3) 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定.
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