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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
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      伯東企業(yè)（上海）有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2022-11-17 11:22:19瀏覽次數(shù)：388次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
									
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston, 通過使用分子傳感技術(shù), 提供半導(dǎo)體制程中  ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷, 為半導(dǎo)體過程控制提供解決方案, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝 Aston, 可在短時間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                            
       Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 技術(shù)規(guī)格：
                      
                         
      實(shí)時過程控制的通用工具, 耐腐蝕性氣體, 抗冷凝
       半導(dǎo)體制造的分子分析原位平臺, 提供實(shí)時, 可操作的數(shù)據(jù)
       采用等離子體電離源, 無燈絲, 更耐用
       可與大批量生產(chǎn)工具集成
       Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀作為一個強(qiáng)大的平臺, 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供的控制水平, 包括光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.
       
       Aston™ 過程質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)
        
        
        
      類型
             		  
      Impact-300
             		  
      Impact-300DP
             		  
      Plasma-200
             		  
      Plasma-200DP
             		  
      Plasma-300
             		  
      Plasma-300DP
             		 
       
        
      型號
             		  
      AST3007
             		  
      AST3006
             		  
      AST3005
             		  
      AST3004
             		  
      AST3003
             		  
      AST3002
             		 
       
        
      質(zhì)量分離
             		  
      四級桿
             		 
       
        
      真空系統(tǒng)
             		  
      分子泵
             		  
      分子泵
       隔膜泵
             		  
      分子泵
             		  
      分子泵
       隔膜泵
             		  
      分子泵
             		  
      分子泵
       隔膜泵
             		 
       
        
      檢測器
             		  
      FC /SEM
             		 
       
        
      質(zhì)量范圍
             		  
      2-285
             		  
      2-220
             		  
      2-285
             		 
       
        
      分辨率
             		  
      0.8±0.2
             		 
       
        
      檢測限
             		  
      0.1 PPM
             		 
       
        
      工作溫度
             		  
      15-35“℃
             		 
       
        
      功率
             		  
      350 W
             		 
       
        
      重量
             		  
      15 kg
             		 
       
        
      尺寸
             		  
      299 x 218 x 331 LxWxH(mm)
             		  
      400 x 240 x 325 LxWxH(mm)
             		 
              
        
       
        
      Atonarp  Aston™ 應(yīng)用: 半導(dǎo)體工藝過程控制和優(yōu)化的重大發(fā)展, 提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率
       Aston™ 是一款全新設(shè)計堅固耐用的緊湊型在線質(zhì)譜儀, 適用于半導(dǎo)體制造和工業(yè)過程控制應(yīng)用中氣體監(jiān)測和控制, 高定量精度和實(shí)時性與生產(chǎn)穩(wěn)健性和可靠性相結(jié)合, 例如半導(dǎo)體 dry pump 尾氣偵測分析, 實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)控,診斷.
       CVD / ALD: 氧化物-氮化物過渡及成分分析
       Etch/ALE End Point :<0.3%
       Chamber Matching:識別跟蹤分子
       Aston™ 半導(dǎo)體在線質(zhì)譜儀應(yīng)用
       
       若您需要進(jìn)一步的了解 Atonarp  Aston™ 在線質(zhì)譜儀詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
       上海伯東: 葉小姐                                   中國臺灣伯東: 王小姐
       T: +86-21-5046-3511 ext 109              T: +886-3-567-9508 ext 161
       F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
       M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )      M: +886-939-653-958
        
       現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
       上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！  
                      
                   
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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