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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司


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      多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

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      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地沈陽市

      聯(lián)系方式:經(jīng)理查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-03-02 09:04:57瀏覽次數(shù):362次

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        暫無信息

      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:912條

      所在地區(qū):遼寧沈陽市

      聯(lián)系人:經(jīng)理

      產(chǎn)品簡介

      多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

      詳細(xì)介紹

      產(chǎn)品簡介:GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上,同時可以實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

       

      產(chǎn)品型號

      GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

      技術(shù)參數(shù)

      功能

      雙通道

      三通道

      四通道

      五通道

       

      質(zhì)子流量控制器

      工作溫度:5~45ºC  
      壓力:3x106 Pa  
      精度: ±1.5% FS  
      線性: ±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
      流量范圍:
      一路:1~199 SCCM
      二路:1~499 SCCM
      注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

      工作溫度:5~45 ºC
      壓力: 3x106 Pa
      精度: ±1.5% FS
      線性: ±0.5-1.5%F.S.
      重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
      流量范圍:
      一路: 0~100 SCCM
      二路: 1~199 SCCM 
      三路: 1~499 SCCM 
      注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

      工作溫度: 5~45 ºC
      壓力:3x106 Pa
      精度: ±1.5% FS
      線性: ±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
      流量范圍:
      一路: 0~100 SCCM
      二路: 1~199 SCCM
      三路: 1~199 SCCM
      四路: 1~499 SCCM
      注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

      工作溫度: 5~45 ºC
      壓力: 3x106 Pa
      精度: ±1.5% FS
      線性: ±0.5-1.5%F.S.
      重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
      流量范圍:
      一路: 0~100 SCCM
      二路: 1~199 SCCM
      三路: 1~199 SCCM
      四路: 1~499 SCCM
      -九路可按照客戶要求定制

      產(chǎn)品規(guī)格

      外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

      輸入電源

      AC 220V/50Hz單相

        

      23W

      PLC觸摸屏

      各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

      RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

      機(jī)械壓力表

      有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

      量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

        

      316 不銹鋼

      通氣管道

      內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

      外部通氣管道為1/4”聚四氟管

      混氣罐

      Φ80X120mm

      截止閥及配件

      316不銹鋼針閥

      Φ1/4” 不銹鋼管


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