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更新時(shí)間:2024-04-16 13:56:52瀏覽次數(shù):71次
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MEMS氣體傳感器利用MEMS工藝再SI基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
MEMS氣體傳感器利用MEMS工藝再SI基襯底上制作微熱板,所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化,該氣體的濃度越高,傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
設(shè)備型號(hào):JXBS-3001
測(cè)量范圍:0-10000ppm
通訊方式:模擬信號(hào)
測(cè)定參數(shù): 可燃?xì)?/p>
回路電壓Vc:≤24V DC
加熱電壓VH:2.8V±0.1V AC or DC
負(fù)載電阻RL:可調(diào)
加熱電阻RH:80Ω±20Ω(室溫)
加熱功耗PH:≤80mW
敏感體表面電阻Rs:1KΩ~30KΩ
靈敏度S:≥2.0
濃度斜率α:≤0.9
溫度:20℃±2℃
濕度:55%RH±5%RH
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電路:VH:2.8V±0.1V;Vc:5.0V±0.1V
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