SDG001、SDG002型 高純水電導(dǎo)率儀
【應(yīng)用領(lǐng)域】
SDG型系列高純水電導(dǎo)率儀，用于測量高純水電導(dǎo)率，其測量純水可以達(dá)到nS/cm級，測量精確、準(zhǔn)確、穩(wěn)定。
高純水主要應(yīng)用于電子和微電子工業(yè)上，也用于食品、造紙、醫(yī)藥等行業(yè)。半導(dǎo)體器件由單電路到集成電路到超高集成電路，其用水的水質(zhì)要求就越來越高。在半導(dǎo)體切片和研磨過程中，須用高純水進(jìn)行清洗。
【品質(zhì)】
VIOLET®智創(chuàng)，更強(qiáng)、更好、更精彩！
◆ 允許誤差：
SDG001：±0.1%FS
SDG002：±0.2%FS
保障高精度測量；
◆ 測量電導(dǎo)率，可實時切換電阻率；
◆ 支持功能拓展、擴(kuò)展；
◆ 自動溫度補(bǔ)償(可以選擇手動補(bǔ)償)。
【功能、特點(diǎn)】
◆ 六鍵操作、光標(biāo)引導(dǎo)；
◆ 支持N點(diǎn)標(biāo)定(N=1～8)，支持標(biāo)定設(shè)為理論值；
◆ VIOLET®智創(chuàng)，饜足一支電極全量程范圍應(yīng)用；
◆ 測量響應(yīng)靈敏，平衡后“精、準(zhǔn)、快”即時顯現(xiàn)；
◆ 數(shù)據(jù)采集、存儲符合GLP規(guī)范。庫存數(shù)據(jù)可查詢、轉(zhuǎn)移、刪除(單組)、清零(全部)，數(shù)據(jù)庫可無限保存采集數(shù)據(jù)(SD卡轉(zhuǎn)移輸出)；
◆ 自動溫度補(bǔ)償(可以選擇手動補(bǔ)償)；
◆ 顯示屏背光可調(diào)；
◆ 操作菜單可選中文、英文。
【技術(shù)參數(shù)】
參數(shù) | 技術(shù)指標(biāo) |
型號 | SDG001 | SDG002 |
儀器引用誤差級別 | 0.1級 | 0.2級 |
測量參數(shù) | 電導(dǎo)率、電阻率、溫度 |
測量范圍 | 電導(dǎo)率 | 0.00nS/cm～50.00μS/cm |
電阻率 | 20.00KΩ·cm～1.000GΩ·cm |
溫度 | (-5.0～105.0)℃ |
分辨率 | 電導(dǎo)率 | 0.01nS/cm、0.001μS/cm |
電阻率 | 0.001(KΩ·cm、MΩ·cm) |
溫度 | 0.1℃ |
允許 誤差 | 電導(dǎo)率 | ±0.1%FS | ±0.2%FS |
電阻率 | ±0.2%FS | ±0.5%FS |
溫度 | ±0.2℃ |
重復(fù)性 | ≤0.1%FS | ≤0.2%FS |
電源 | 電源適配器(輸入AC：220V，50/60Hz；輸出DC：12V，50mA) |
尺寸；重量 | 165×205×60(mm)；350(g) |
【高純水電導(dǎo)率】
一般稱電導(dǎo)率小于0.1μS/cm的純水為高純水。在工藝條件下制備的高純水，雜質(zhì)近乎為零。高純水電導(dǎo)率(或電阻率)是水質(zhì)要求關(guān)健指標(biāo)。
高純水制備的典型工藝流程如下：源水→過濾→活性炭過濾器（或有機(jī)大孔樹脂吸附器）→反滲透器（或電滲析器）→陽離子交換柱→陰離子交換柱→ 混合離子交換柱→有機(jī)物吸附柱→紫外燈殺菌器→精密過濾器→高純水。
制定高純水標(biāo)準(zhǔn)主要依據(jù)：(1).微電子工藝對水質(zhì)的要求；(2).制水工藝的發(fā)展水平；(3).水中雜質(zhì)監(jiān)測技術(shù)的現(xiàn)狀等。目前，在1 G(及以上)位超大規(guī)模集成電路制造中，對高純水的技術(shù)要求很嚴(yán)。
電極常數(shù)標(biāo)定：用標(biāo)準(zhǔn)純水(已知電導(dǎo)率值)作為標(biāo)定溶液，標(biāo)定電極常數(shù)。標(biāo)定前用高純水把電極清洗干凈，并用慮紙吸干水分，再用標(biāo)定純水適量沖洗。
十分感謝高純水領(lǐng)域的工程師們在測量應(yīng)用工藝方面的經(jīng)驗、探索和創(chuàng)新。
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