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MX63/MX63L半導(dǎo)體\FPD 檢查顯微鏡

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MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸高達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)

詳細(xì)介紹

MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸高達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。結(jié)合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用時(shí)，從觀察到生成報(bào)告的整個(gè)檢測(cè)流程更簡(jiǎn)潔直觀。
1、*的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。
2、從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集
通過將暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

3、輕松生成全景圖像: 即時(shí)MIA
利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需進(jìn)行該操作。奧林巴斯Stream軟件利用模式識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。

4、生成全聚焦圖像: EFI
奧林巴斯Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI)功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸載物臺(tái)使用，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。

5、利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
利用*的圖像處理技術(shù)，高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級(jí)外觀的報(bào)告。

6、從基本測(cè)量到上等分析
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便是入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。

7、高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。

8、獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)
利用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63系列是一套*的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒進(jìn)行控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。

9、支持潔凈室合規(guī)性的*設(shè)計(jì)
MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并有效降低樣品污染或受損的風(fēng)險(xiǎn)。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶在長時(shí)間使用中保持舒適。MX63系列符合SEMI S2/S8、CE和UL等多項(xiàng)國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。
選配晶圓搬送機(jī) — AL120系統(tǒng)*
選配的晶圓搬送機(jī)可安裝在MX63系列上，實(shí)現(xiàn)無需使用鑷子或工具即可安全地將硅片及化合物半導(dǎo)體晶圓從片盒轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)上。強(qiáng)大的性能和可靠性能夠安全、高效地對(duì)晶圓正面和背面進(jìn)行宏觀檢測(cè)，同時(shí)搬送機(jī)還可幫助提高實(shí)驗(yàn)室工作效率。

MX63系統(tǒng)與AL120晶圓搬送機(jī)結(jié)合使用(200毫米型號(hào))
快速、清潔的檢測(cè)
MX63系列可實(shí)現(xiàn)無污染的晶圓檢測(cè)。所有電動(dòng)組件均安裝在防護(hù)結(jié)構(gòu)殼內(nèi)，顯微鏡鏡架、鏡筒、呼吸防護(hù)罩、及其他部件均采用防靜電處理。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的轉(zhuǎn)速比手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器更快更安全，縮短檢測(cè)間隔時(shí)間的同時(shí)讓操作人員的手始終保持在晶圓下方，避免了潛在的污染。

防靜電呼吸防護(hù)罩電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效觀察
利用內(nèi)置離合和XY旋鈕，XY載物臺(tái)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)載物臺(tái)運(yùn)動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào)。即便針對(duì)諸如300毫米晶圓這樣的大尺寸樣品，載物臺(tái)也可幫助實(shí)現(xiàn)高效的觀察。傾斜觀察鏡筒的擴(kuò)展范圍可讓操作人員以舒適的姿態(tài)坐在顯微鏡前工作。

帶有內(nèi)置離合的載物臺(tái)手柄傾斜觀察鏡筒可確保舒適的工作姿態(tài)
接受所有晶圓尺寸
該系統(tǒng)可配合各類150–200毫米和200–300毫米晶圓托架和玻璃臺(tái)板使用。如果生產(chǎn)線上的晶圓尺寸發(fā)生變化，可更改載物臺(tái)或鏡架。有了MX63系列，各種載物臺(tái)均可用于檢測(cè)75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圓。

MX63 / MX63L半導(dǎo)體檢查顯微鏡規(guī)格：

		MX63	MX63L
光學(xué)系統(tǒng)		UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng))
顯微鏡鏡架	反射光照明 (FN 26.5)	白光LED (帶有光強(qiáng)管理器) 12伏100瓦鹵素?zé)? 100瓦汞燈明場(chǎng)/暗場(chǎng)/分光鏡組，手動(dòng)切換。(分光鏡為選配件。) 通過手動(dòng)操作更換3位置分光鏡編碼內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌 (針對(duì)每個(gè)物鏡預(yù)設(shè), 暗場(chǎng)觀察時(shí)自動(dòng)全開) 觀察模式: 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉 (DIC)1, 簡(jiǎn)單偏振1, 熒光1, 紅外1 和MIX觀察 (4個(gè)定向暗場(chǎng)) *1 選配分光鏡, 2 需要MIX觀察配置
	透射光照明 (FN 26.5)	需要透射光照明單元MX-TILLA或MX-TILLB。帶有聚光器(NA 0.5) 的透射光照明單元和孔徑光闌:MX-TILLA 帶有聚光器(NA 0.6) 的透射光照明單元和孔徑光闌和視場(chǎng)光闌:MX-TILLB 光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素?zé)? 導(dǎo)光:LG-SF 觀察模式: 明場(chǎng), 簡(jiǎn)單偏振
	聚焦	行程：32毫米每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100微米 *小分度:1微米用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié)
	*大負(fù)載重量(包括載物臺(tái) 和支架)	8 kg	15 kg
觀察筒	寬視場(chǎng) (FN 22)	正像三目觀察筒:U-ETR4 正像傾斜式三目觀察筒:U-TTR-2 倒像三目觀察筒:U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 倒像雙目觀察筒:U-BI30-2 倒像傾斜式雙目觀察筒：U-TBI30
	超寬視場(chǎng) (FN 26.5)	正像傾斜式三目觀察筒：MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡):0 (相機(jī)) 或0:99%) 正像傾斜式三目觀察筒:U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) :0 (相機(jī)) 或 20% :80%) 倒像三目觀察筒:U-SWTR-3
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤		明場(chǎng) 六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6REMC 五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5REMC 明場(chǎng)和暗場(chǎng) 六孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D6BDREMC 五孔電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-D5BDREMC 五孔可調(diào)中心電動(dòng)轉(zhuǎn)盤，帶DIC插槽:U-P5BDREMC
載物臺(tái) (X × Y)		帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄:MX-SIC8R 行程:210 x 210毫米透射光照明區(qū)域:189 x 189毫米帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄: MX-SIC6R2 行程:158 x 158毫米 (僅適用于反射光)	帶內(nèi)置離合驅(qū)動(dòng)的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305毫米透射光照明區(qū)域：356 x 284毫米
重量		約50公斤 (顯微鏡架37.5公斤)	約64公斤 (顯微鏡架44公斤)