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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      安徽智微科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)
      
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      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地合肥市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：江先生查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2022-08-01 16:20:01瀏覽次數(shù)：197次
							
      
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      經(jīng)營(yíng)模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：43條
      
						
      所在地區(qū)：安徽合肥市
      
						
      聯(lián)系人：江先生
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)：曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm分辨力：2μm
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
      產(chǎn)品名稱(chēng)：TYG-2000/T2步進(jìn)投影光刻機(jī)

      主要技術(shù)指標(biāo)：

         曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm
         分辨力：2μm；
         照明不均勻性：±2%
         物鏡倍率：2.5倍(縮小)
         光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
         基片尺寸：4 英寸
         工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
         工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm
         調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm
         對(duì)準(zhǔn)精度：±0.5μm
         調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：5mm
         檢焦：CCD檢測(cè)，檢測(cè)精度0.5微米
         轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±4°以上
         基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
      主要技術(shù)配置：
      （1）照明系統(tǒng)：冷光橢球鏡;   350W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗);   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái);   光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡負(fù)透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風(fēng)扇
      （2）工件臺(tái)系統(tǒng)：X臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵（美國(guó)）   Y臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本NSK）、導(dǎo)軌2（日本THK）、光柵2（美國(guó)）   轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系 調(diào)平臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（3套）、調(diào)平機(jī)構(gòu)   Z臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu); 承片臺(tái)：3英寸（可增加4英寸、2英寸、1英寸等）
      （3）檢焦系統(tǒng)：焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件
      （4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)：對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)（2套）、CCD（2套）、對(duì)準(zhǔn)軟件
      （5）電控系統(tǒng)：汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、顯示器、接口
      （6）其他部件：底座 減震器（4個(gè));控制柜桌;氣動(dòng)系統(tǒng);電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
      （7）其他附件：真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵);空壓機(jī)一臺(tái)（*泵）;管道

      
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
      
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