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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      河南成儀設(shè)備科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      成儀PECVD系統(tǒng)
      
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      參  考  價面議  
      
					                    
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
      所  在  地鄭州市
      
						
      
                        
                    
      
					 							        										
      聯(lián)系方式：經(jīng)理查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時間：2022-08-01 12:28:06瀏覽次數(shù)：282次
							
      
							聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)
						
      
				
      
				
			
      
            
						
      
			
      
						
      
				
				
      
					
					
      
						
      
                                                        
                                                    
      
						
      經(jīng)營模式：其他
      
						
      商鋪產(chǎn)品：70條
      
						
      所在地區(qū)：河南鄭州市
      
						
      聯(lián)系人：經(jīng)理
      												
					
      
				
      
			
      			
      
                                
      
                    產(chǎn)品簡介
                
      
				
      
                      
      
                                                                      
      
					
      型號：PE-12100C用途：使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng).
      
				
      
				
      
                    詳細介紹
                
      
			    
      
			        
      
			                                            
      　　PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。
      　　該型號PECVD為成儀新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。
      　　主要特點：
      　　1. 氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好;
      　　2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng);
      　　3. 管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。
      　　4. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力;
      　　5. 射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行;
      　　6. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離;
      　　7. 整機結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
      加熱爐部分
      爐膛模式開啟式爐膛
      顯示模式7英寸觸摸屏
      極限溫度1400℃
      工作溫度≤1350℃
      升溫速率建議10℃/Min   Max：30℃/Min
      加熱溫區(qū)3溫區(qū)
      單溫區(qū)長度150 mm
      爐管規(guī)格100*2000 mm
      控溫精度±1℃
      密封方式快速法蘭密封
      溫度曲線30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
      預(yù)存曲線可預(yù)存15條溫度曲線
      超溫報警有
      過流保護有
      斷偶提示有
      測溫元件s型熱電偶
      爐膛材料氧化鋁纖維
      外形尺寸2600*860*1400MM
      射頻電源
      信號頻率13.56 MHz±0.005%
      功率輸出范圍5W-300W
      功率穩(wěn)定度±0.1%
      諧波分量≤-50dbc
      供電電壓單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
      整機效率>=70%
      功率因素>=90%
      冷卻方式強制風(fēng)冷
      真空部分
      工作電電壓220V±10%  50~60HZ
      功率500W
      抽氣速率4Ls
      進氣口口徑KF25
      排氣口口徑KF25
      轉(zhuǎn)速1450rpm
      噪音55dB
      極限真空4X10-2Pa
      氣路系統(tǒng)
      1,2氣路采用DB07K系列
      3路采用高精度CS200系列
      整機系統(tǒng)特色
      正壓測量-100Kpa---100Kpa
      真空測量10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量）
      正壓保護支持
      壓力恒定支持
      智能氣路支持
      氣路定時支持
      射頻工作時間設(shè)定支持
      移動速度調(diào)節(jié)支持
      系統(tǒng)真空度4.8×10-3Pa
       
                                  
			        
      
			    
      
                			    
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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