蘇州晟宇氣體設備有限公司
本裝置系統自高溫爐后出口閥門起(無油真空泵開啟點由高溫爐控制啟停):
A,回收氣自干式真空泵后開始,接雙聯脈沖過濾器后在氧分儀監(jiān)控下選擇放空或啟動回收氣收集。
B,增壓系統工作:真空泵后排放氣體經氧分析儀監(jiān)控后選擇運行動作,啟動回收程序,開啟氣動閥進入壓縮機前緩沖罐,在壓力傳感器作用下全自動運行,完成系統管道吹掃,在設定數據范圍內自動運行,經初級過濾粉塵、精密二級過濾,冷卻干燥脫水,除氧劑除氧、干燥純化設備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質,得到相對純度*的氬氣,最后經貴金屬精密過濾器送至工作點使用。
回收氣中氧含量小于200ppm,含有微量一氧化碳和碳氫化合物,或帶有高溫下產生有機化合物等,含有3um以下顆粒物,
回收要求:回收后配純化設備除去氬氣中氧,一氧化碳,二氧化碳,碳氫化合物,有機氣體等雜質,配雙聯脈沖過濾器過濾顆粒并收集。
回收裝置組成:
1,從源頭上控制:在真空泵后配置雙聯脈沖過濾器過濾顆粒物并收集,使其進回收系統氣體的顆粒物殘留小于0.1um,減少或杜絕在系統運行中造成堵塞風險。
2,回收源頭設微量氧分析儀,監(jiān)測回收氣源中氧含量,按自編程序(含氧量0-1000ppm可選)運行,放空或回收(放空閥門開啟后有聲光報警)。
3,回收純化設備:采用多級純化方式,分段處理,層層分離,使其限度地滿足高純氣需求。
4,回收系統和純化設備以整體撬裝機柜式提供,以一套自動控制系統集成控制,整體系統合成在一套移動式機柜內,真空泵電源開關由高溫爐控制。整體設備有聯鎖互鎖功能,杜絕誤操作,數據輸出端有485接口,聯機可完成數據遠傳,遠程控制。供方提供總控制面板一塊,可鑲嵌至總控制臺完成整套設備的所以控制。
6,整體回收設備以封閉式機柜提供,外觀電腦灰烤漆,移動式腳輪設計(外加固定承壓支柱),外觀電腦灰烤漆, 獨立操縱面,美觀協調,整體占地面積約2m(寬)x2(深)x2m(高)(具體尺寸以實物為準)