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LDTW-15A 在線管式PECVD上下料機(jī)
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號
- 品牌
- 其他 廠商性質(zhì)
- 無錫市 所在地
訪問次數(shù)：318更新時間：2022-06-20 12:07:02
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備性能
– 速度：6000片/小時（根據(jù)不同舟型會有變動)
– 極低的破損：≤0.03%，先導(dǎo)設(shè)計(jì)的精密吸片系統(tǒng)和石墨舟定位機(jī)構(gòu)，保證了極低的碎片率
– 運(yùn)行時間高達(dá)98.5%：成熟的設(shè)備和軟件設(shè)計(jì)，機(jī)構(gòu)品牌機(jī)械臂+久經(jīng)考驗(yàn)的零部件=良好的品質(zhì)氧化
– 鋯陶瓷吸盤，對膜面損傷降到，減少吸盤印隱患
– 帶有掉片、漏吸檢測功能，標(biāo)配人工干預(yù)位及吸筆
– 預(yù)留PL工位，可兼容面陣及線掃AOI相機(jī)，可從硅片上方檢測也可在硅片下方檢測，有效的避免了硅片劃傷
– 具有RFID花籃追蹤、AGV小車對接等功能
– Softtouch工作理念：動作過程中與硅片接觸搬運(yùn)過程中均輕柔動作，以減少碎片
– 方便的操作與維護(hù)：PLC控制人機(jī)界面易于使用和理解，安裝時間短
本設(shè)備為產(chǎn)品，仿冒必究！
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