思顯光電技術(shù)(上海)有限公司
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訪問(wèn)次數(shù):214更新時(shí)間:2022-05-18 12:08:14
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電極涂層厚度測(cè)量
測(cè)量要求
掃描一條線,以基板為基準(zhǔn)面測(cè)量與涂層的段差即為涂層的厚度
主要特點(diǎn)概覽
1.非接觸式測(cè)量,一體化設(shè)計(jì)
2.適用范圍廣,裝拆方便
3.±0.5到±1μm重復(fù)精度保證
4.一線式掃描,速度可達(dá)到50mm/s,大大提高檢測(cè)速度
5.離線式檢測(cè),厚度數(shù)據(jù)存儲(chǔ),形成管理統(tǒng)計(jì)/分析基礎(chǔ)數(shù)據(jù)
6.豐富的報(bào)警功能,OK、NG提示,監(jiān)控測(cè)量全過(guò)程,管控品質(zhì),提高效率
測(cè)量結(jié)果
涂層厚度約為18μm±1μm
解決現(xiàn)階段測(cè)量裝置存在的問(wèn)題
1.對(duì)測(cè)量材料有一定要求
2.接觸式測(cè)量,對(duì)測(cè)量材料有損壞
3.測(cè)量范圍小,位置不確定,測(cè)定困難
4.測(cè)量速度慢、精度低,測(cè)量誤差大
5.結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本高