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光譜共焦藍(lán)寶石厚度測(cè)量機(jī)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問次數(shù)：145更新時(shí)間：2022-05-18 11:22:37
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產(chǎn)品介紹
平整度測(cè)量機(jī)
平整度測(cè)量機(jī)是一款高精度的非接觸式平整度測(cè)量設(shè)備。采用共焦位移測(cè)量技術(shù)結(jié)合高精度運(yùn)動(dòng)機(jī)臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)高速、高精度的平整度檢測(cè)要求。
設(shè)置簡(jiǎn)單，操作方便。±1um的測(cè)量精度，±0.5μm的重復(fù)精度。
型號(hào)
SP-1100
測(cè)量速度
≤12mm/s
測(cè)量點(diǎn)間距
0.2-72μm自由設(shè)置
測(cè)量精度
±1μm
平臺(tái)大小
200×200mm
X和Y方向行程
100×100mm
分辨率
0.5μm
重復(fù)精度
＜1.4μm
允許負(fù)重
10Kg
量程(Z方向)
400μm/1400μm/4000μm
精度（Z）
±0.1μm/0.5μm/1μm
采樣頻率
100Hz-10kHz
適配器額定輸入
100-240VAC 0.8A 50-60Hz
控制器額定輸入
24VDC 1A 1.5A（max）
傳感器輸入
24V DC 3A
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