思顯光電技術(shù)（上海）有限公司
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光譜共焦二維輪廊測(cè)量?jī)x
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問(wèn)次數(shù)：127更新時(shí)間：2022-05-18 11:02:31
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產(chǎn)品介紹
顯微干涉測(cè)厚儀
增加了可視化模塊的干涉測(cè)厚儀，對(duì)于測(cè)量微小器件可實(shí)現(xiàn)顯微觀測(cè)光斑所在位置。Z軸動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍 5-10mm（對(duì)距離無(wú)苛刻要求，在此范圍波動(dòng)均可測(cè)量）
超大工作距離，超大動(dòng)態(tài)范圍，適合在線測(cè)量，不受抖動(dòng)影響
操作方便，無(wú)需復(fù)雜校準(zhǔn)
快速測(cè)量，是傳統(tǒng)型號(hào)100倍速度
以太網(wǎng)通訊，更加穩(wěn)定快速
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
PCB板涂層，半導(dǎo)體（硅，單晶硅，多晶硅）、半導(dǎo)體化合物、微電子機(jī)械（MEMS）、氧化物/氮化物、光刻膠、硬涂層、聚合物涂層、高分子聚合物 …
技術(shù)參數(shù) 量程（可測(cè)量厚度范圍）
0.5-50μm 工作距離 7-70mm（根據(jù)光斑不同） Z軸動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍 5-10mm(對(duì)距離無(wú)苛刻要求，此范圍內(nèi)波動(dòng)均可測(cè)量） 角度特性 ±5° 光斑尺寸 1-0.1mm（可定制大?。?/td> 精度 10nm 分辨率 1μm 測(cè)量速度 2000次/秒
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