思顯光電技術(shù)(上海)有限公司
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訪問次數(shù):212更新時間:2022-05-18 11:00:54
干涉測厚傳感器
對于比較薄的薄膜、玻璃、涂膠等使用光譜共焦位移傳感器難以測量, 使用THINKFOCUS的干涉測厚傳感器可以輕松測量0.5-50μm的厚度。且可適應(yīng)范圍大,工作距離達(dá)到35mm,可以實(shí)現(xiàn)在線測量。
測量結(jié)果實(shí)時記錄并導(dǎo)出。
操作方便無需復(fù)雜的校準(zhǔn),實(shí)時顯示,無需復(fù)雜的點(diǎn)擊操作。
測量速度快,是傳統(tǒng)干涉型號100倍速度。以太網(wǎng)通訊,更加穩(wěn)定快速。
技術(shù)參數(shù) 量程(可測量厚度范圍)
0.5-50μm 工作距離 7-70mm(根據(jù)光斑不同) Z軸動態(tài)測量范圍 5-10mm(對距離無苛刻要求,此范圍內(nèi)波動均可測量) 角度特性 ±5° 光斑尺寸 1-0.1mm(可定制大?。?/td> 精度 10nm 分辨率 1μm 測量速度 2000次/秒