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上海浦卓測(cè)控技術(shù)有限公司
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PZ10-HS-DS質(zhì)量流量計(jì)/控制器
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- 產(chǎn)品型號(hào)
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訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)：271更新時(shí)間：2022-08-19 17:18:53
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品介紹
1、PZ10-HS-DS質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品展示：
 PZ10-DS質(zhì)量流量計(jì) |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、 環(huán)境保護(hù)和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝 設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
工作原理：
PZ10-HS/DS 系列氣體質(zhì)量流量控制器較好的精度、堅(jiān)固性及可靠性源于我公司特別的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動(dòng)校正溫度 及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值，然后測(cè)量氣體流量的降溫效果。通過(guò)測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的 原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)白金電阻溫度探測(cè)器（RTD）。白金 RTD 絲纏繞在堅(jiān)固 的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個(gè)傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。
主要技術(shù)指標(biāo)：
1 | 量程范圍 | （0～500,1000,1500,2000,2500,3000...）SLM |
2 | 準(zhǔn) 確 度 | ±0.5%F.S/±1.0%F.S |
3 | 線(xiàn) 性 | ±0.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時(shí)間 | 電特性：1sec 氣特性：（1～4）sec |
6 | 工作壓差 | 0.02～1.0Mpa |
7 | 耐 壓 | 3Mpa,10Mpa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0～50℃ |
9 | 數(shù) 字 量 | RS485/232 MODBUS 協(xié)議 |
10 | 模 擬 量 | DC 0～5V ，1～5V，4～20mA 可選 |
11 | 供 電 | DC ±15V/24V 可選，電源功率≥20W |
12 | 電氣連接 | DB15 針 |
13 | 漏 率 | 1×10-9SCCSHe |
14 | 底座材質(zhì) | 316L 不銹鋼 |
15 | 密封材質(zhì) | 氟橡膠，聚四氟乙烯，丁晴橡膠 |
16 | 氣路接頭 | 3/4〞，Φ20，Φ25，法蘭連接 |
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