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大流量質(zhì)量流量控制器
參考價: | 面議 |
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訪問次數(shù):256更新時間:2022-04-06 15:29:02
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹

數(shù)字式系列質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比列調(diào)節(jié)閥精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量體積流量及壓力,還可同時測量并顯示氣體溫度。
特點
標準精度0.8%RD+0.2%F.S 高精度0.4%RD+0.2%F.S
有效控制范圍0.5-99% 內(nèi)置90至130條氣體曲線可選
響應速度100ms 多種數(shù)字信號可選
基本參數(shù)
產(chǎn)品性能 | 質(zhì)量流量控制器 |
流量范圍 | 0.5sccm-5000slpm |
精度(調(diào)零后標準條件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
高精度選配(調(diào)零后標準條件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備 |
標定氣體 | 內(nèi)置90條氣體可選擇 |
重復性 | ± 0.2% F.S |
零點漂移&滿量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
工作壓力 | 10bar |
可控流量 | 102.4% F.S |
典型響應時間 | 100 毫秒(可調(diào)整) |
啟動預熱時間 | < 1 秒 |
工作溫度 | −10 ~ +50 ºC |
工作濕度范圍 (非冷凝) | 0 ~ 99% |
內(nèi)部工作壓力(靜壓) | 145 psig |
極限壓力 | 175 psig |
對安裝方式/方向的要求 | 任意 |
閥門狀態(tài) | 閥門常閉 |
通訊 / 電源 | 質(zhì)量流量控制器 |
單色/彩色 LCD 顯示屏 | 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號 | 標準RS-232 選配RS-485,MODBUS-RTU,PROFIBUS,DeviceNet以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
模擬信號 | 標準0-5V 1-5V-0-10V 選配4-20mA |
電信號接口 | 標準圓形8針 選配圓形6芯 DB9針 DB15針 |
供電電壓 | +24VDC |
消耗電流 | 20SLM以為 250mA 50SLM以為750mA 5000SLPM消耗2000mA電流 |
流量 | 壓損(spig)排放大氣中 | 接口 |
0.5-50SCCM | 1.0 | 1/8NPT母螺紋 |
100-500SCCM | 1.0 | |
1SLM | 1.5 | |
2SLM | 3.0 | |
5SLM | 2.0 | |
10SLM | 5.5 | |
20SLM | 20.0 | |
50SLM | 2.0 | 1/4NPT母螺紋 |
100SLM | 3.2 | |
250SLM | 2.4 | 1/2NPT母螺紋 |
500SLM | 6.5 | 3/4NPT母螺紋 |
1000SLM | 14.0 | |
1500SLM | 17.0 | |
2000SLM | 28.6 | |
3000SLM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺紋 |
5000SLM | 14.1 | 2NPT母螺紋 |
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