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KWD中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機(jī)/旋涂儀200-600mm2

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產(chǎn)品簡介

中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機(jī)/旋涂儀200-600mm2

產(chǎn)品介紹

中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機(jī)/旋涂儀200-600mm

> 參數(shù)：手動(dòng)旋鈕控制
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圓片、500x500mm2方片
        > 轉(zhuǎn)速：200-2000轉(zhuǎn)/分
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1，膠的均勻性±5%
        > 勻膠階段：2段
        > 勻膠時(shí)間：3-60s可調(diào)
        > 電機(jī)功率：320W
        > 儀器尺寸：980mmx855mmx855mm
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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