詳細(xì)介紹
1200℃坩堝可移動(dòng)型管式爐系列是一款坩堝可在爐管內(nèi)移動(dòng)(靠步進(jìn)電機(jī)控制)的小型開啟式管式爐。爐管外徑為50mm,設(shè)備zui高工作溫度為1200℃。通過觸摸屏數(shù)字控制器控制樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)的位置和溫度。此設(shè)備可進(jìn)行快速熱處理,例如混合物理化學(xué)沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā)(RTE),以及在各種氣氛下進(jìn)行的水平布里奇曼晶體生長(HDC),用于新一代晶體研究。
1200℃坩堝可移動(dòng)型管式爐系列
· 爐子配備步進(jìn)電機(jī),通過觸摸屏數(shù)字控制器使樣品臺(tái)或坩堝在爐管內(nèi)移動(dòng)。
· zui高溫度可達(dá)1200℃。
· 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。
· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。
· 可選擇改造為雙溫區(qū)管式爐,但需額外付費(fèi),以產(chǎn)生更高的熱梯度或更長的恒溫區(qū)。
· 一個(gè)直徑為1/4"的鎧裝熱電偶(K型),通過法蘭伸入到爐管中,并可隨坩堝移動(dòng),可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品的實(shí)際溫度。(見圖一)
· 通過步進(jìn)電機(jī)移動(dòng)爐管內(nèi)的坩堝(樣品臺(tái)),zui大行程為100mm。
· 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標(biāo)位置,坩堝移動(dòng)速度為180mm/min(可根據(jù)要求提供變速控制,但需額外付費(fèi))。(見圖二)
· 在熱電偶上安裝了一個(gè)微型坩堝舟。( 見圖三)
· 可根據(jù)要求提供用于晶片的氮化鋁樣品架或石墨平板基底支架,將收取額外的定制費(fèi)(見圖四)。