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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      磐石創(chuàng)新（江蘇）電子裝備有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      第二代半導(dǎo)體材料全自動(dòng)清洗機(jī)
      
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      參  考  價(jià)面議  
      
					                    
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				
				
      
						
      
							
      產(chǎn)品型號(hào)
      
							
      品       牌
      
		                    
      廠商性質(zhì)其他
      
		                    							
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      聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
      
									                                                 
      
						
      
							
      
								更新時(shí)間：2020-10-26 11:10:06瀏覽次數(shù)：502次
							
      
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      第二代半導(dǎo)體材料全自動(dòng)清洗機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域，*的清洗工藝有效去除了晶片表面的細(xì)微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留物等問(wèn)題。高精度全自動(dòng)配藥系統(tǒng)，可針對(duì)不同工藝要求對(duì)藥液比例精準(zhǔn)配比。
      
				
      
				
      
                    詳細(xì)介紹
                
      
			    
      
			        
      
			            
          
      第二代半導(dǎo)體材料全自動(dòng)清洗機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域，*的清洗工藝有效去除了晶片表面的細(xì)微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留物等問(wèn)題。高精度全自動(dòng)配藥系統(tǒng)，可針對(duì)不同工藝要求對(duì)藥液比例精準(zhǔn)配比。
      設(shè)備介紹
      1、設(shè)備用途：用于硅、藍(lán)寶石、GaAs晶片清洗及烘干工藝。
      2、適用工藝：集成電路領(lǐng)域：膜前清洗、去膠清洗、外延前清洗。
      3、槽體布局：?jiǎn)闻攀畚弧?/span>
      4、清洗能力：5min/100片。
      5、自動(dòng)化程度：工藝過(guò)程自動(dòng)/手動(dòng)可切換控制。
      設(shè)備特點(diǎn)
      • 兼容8寸，12寸Wafer清洗
      • 自動(dòng)配液系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)不同濃度精確配比
      • 支持多任務(wù)并行處理
      • 模塊化設(shè)計(jì)
      • 結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小
      • 維護(hù)成本低
      • 潔凈等級(jí)符合 ISO Class 1標(biāo)準(zhǔn)
      
			        
      
			    
      
                			    
      關(guān)鍵詞：自動(dòng)清洗機(jī)
      
                                                				
			
      
			
      
		
      
	
      
	
    
      
		
      
			
      
				
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