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東莞市盛雄激光先進裝備股份有限公司
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號Honor Series 6040
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地
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更新時間:2023-02-10 07:24:01瀏覽次數(shù):276次
聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)行業(yè)應(yīng)用:應(yīng)用于單雙臺面玻璃鈍化二極管、單雙臺面可控硅、砷化鎵、氮化鎵、IC等產(chǎn)品的劃片工藝
采用皮秒激光器,定制聚焦頭,聚焦光束直徑小至3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應(yīng),對芯片電路無損傷;
劃片速度高達500mm/s,對于厚度1mm內(nèi)的樣品,激光劃線僅需一次即可折斷;
CCD視覺預(yù)掃描&自動抓靶定位實現(xiàn)加工范圍650mm×450mm,XY平臺拼接精度≤±3μm;
實現(xiàn)無錐度切割,最小崩邊3μm,邊緣光滑;
支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等;
AOI視覺檢測可選配,節(jié)省后續(xù)檢測時間,裂片可選取超聲波或機械裂片,精度高;
12年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀確保性能穩(wěn)定,2萬小時無耗材;
機械手全自動上下料系統(tǒng),節(jié)省人力成本。
光學(xué)單元 | ||
---|---|---|
序號 | 項目 | 參數(shù) |
01 | 激光器類型 | 1064nm 10ps |
02 | 冷卻方式 | 恒溫水冷 |
03 | 激光功率 | 50W |
04 | 光束質(zhì)量 | M2<1.3 |
05 | 聚焦方式&加工頭數(shù) | 單點聚焦鏡、單頭 |
06 | 最小聚焦光斑直徑 | Φ3μm |
激光加工性能 | ||
---|---|---|
序號 | 項目 | 參數(shù) |
01 | 加工速度 | 100-1000mm/s |
02 | 加工材料厚度 | 1mm |
03 | 加工尺寸&精度 | 12iches±5μm |
04 | CCD視覺定位精度 | ≤±3μm |
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