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      行業(yè)產(chǎn)品

      • 行業(yè)產(chǎn)品

      東莞市盛雄激光先進裝備股份有限公司


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      皮秒激光全自動晶圓劃片機

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      參  考  價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

      產(chǎn)品型號Honor Series 6040

      品       牌

      廠商性質(zhì)其他

      所  在  地

      聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

      更新時間:2023-02-10 07:24:01瀏覽次數(shù):276次

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      經(jīng)營模式:其他

      商鋪產(chǎn)品:30條

      所在地區(qū):

      產(chǎn)品簡介

      行業(yè)應(yīng)用:應(yīng)用于單雙臺面玻璃鈍化二極管、單雙臺面可控硅、砷化鎵、氮化鎵、IC等產(chǎn)品的劃片工藝

      詳細介紹

      機器優(yōu)點

      采用皮秒激光器,定制聚焦頭,聚焦光束直徑小至3μm,切割道僅需10μm,切縫窄,更多的芯片出片率,無熱效應(yīng),對芯片電路無損傷;

      劃片速度高達500mm/s,對于厚度1mm內(nèi)的樣品,激光劃線僅需一次即可折斷;

      CCD視覺預(yù)掃描&自動抓靶定位實現(xiàn)加工范圍650mm×450mm,XY平臺拼接精度≤±3μm;

      實現(xiàn)無錐度切割,最小崩邊3μm,邊緣光滑;

      支持多種視覺定位特征,如十字、實心圓、空心圓、L型直角邊、影像特征點等;

      AOI視覺檢測可選配,節(jié)省后續(xù)檢測時間,裂片可選取超聲波或機械裂片,精度高;

      12年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀確保性能穩(wěn)定,2萬小時無耗材;

      機械手全自動上下料系統(tǒng),節(jié)省人力成本。

      規(guī)格參數(shù)
      光學(xué)單元
      序號項目參數(shù)
      01激光器類型1064nm 10ps
      02冷卻方式恒溫水冷
      03激光功率50W
      04光束質(zhì)量M2<1.3
      05聚焦方式&加工頭數(shù)單點聚焦鏡、單頭
      06最小聚焦光斑直徑Φ3μm
      激光加工性能
      序號項目參數(shù)
      01加工速度100-1000mm/s
      02加工材料厚度1mm
      03加工尺寸&精度12iches±5μm
      04CCD視覺定位精度≤±3μm
      樣品展示
      • 樣品1.png
      • 樣品3.png
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      關(guān)鍵詞:CCD 機械手
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