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詳細(xì)介紹
S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
● zui大可載樣品直徑達(dá)300mm
● zui大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20°~+90°
● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵
S-3700N技術(shù)參數(shù)
| 分辨率 | SE 3.0nm，30KV（高真空模式） 10nm， 3KV（高真空模式） BSE 4.0nm，30KV（低真空模式） |
| 放大倍率 | x5~x300，000 |
| 加速電壓 | 0.3~30KV |
| 低真空范圍 | 6~270Pa |
| 圖像電位移 | ±50μm （工作距離 10mm） |
| zui大裝載樣品 | 直徑300mm |
樣品臺(tái)
| X | 150mm |
| Y | 110mm |
| Z | 5~65mm |
| R | 360° |
| T | -20°~90° |
| 觀測(cè)區(qū)域 | 203mm直徑 |
| 樣品zui大高 | 110mm（工作距離10mm） |
| 樣品臺(tái)類型 | 優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
電子光學(xué)系統(tǒng)
| 燈絲 | 預(yù)對(duì)中燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔活動(dòng)光闌4孔活動(dòng)光闌 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 |
| 探測(cè)器 | 二次電子探頭 5分割半導(dǎo)體式被散射探頭 |
| 分析位置 | 工作距離10mm，取出角35° |
顯示控制系統(tǒng)
| 控制模式 | 鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板 |
| 顯示器 | 液晶顯示器 |
| 輔助功能 | 3D動(dòng)畫演示功能 電鏡操作導(dǎo)航功能 樣品操作導(dǎo)航功能 傾斜補(bǔ)償功能 |
| 存儲(chǔ)圖像精度 | 640 x 480 , 1280 x 960 2560 x 1920 , 5120 x 3840 |
| 圖片格式 | BMP, TIFF, JPEG |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式：1280 x 960 標(biāo)準(zhǔn)模式：640 x 480 分割模式：640 x 480 點(diǎn) x 2 信號(hào)混合模式 |
真空系統(tǒng)
| 控制模式 | 全自動(dòng) |
| 分子 | 210升/秒，一臺(tái) |
| 機(jī)械泵 | 135升/分，一臺(tái) |
| 保護(hù)措施 | 斷電保護(hù)、漏氣保護(hù) |
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