技術(shù)參數(shù)：

原子力顯微鏡測(cè)量模式: 接觸式原子力顯微鏡，真正非接觸式原子力顯微鏡，橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM），導(dǎo)電原子力顯微鏡，磁力顯微鏡（MFM），開(kāi)爾文探針（Kelvin Probe），掃描熱原子力顯微鏡（SThM），電容和靜電力顯微鏡（EFM），高級(jí)的納米光刻和納米操作能力，音叉原子力顯微鏡，三維掃描成像。 

●  原子力顯微鏡掃描器zui大測(cè)量范圍：110um X & Y range，22um Z range 
●  大尺寸樣品臺(tái)，全自動(dòng)測(cè)量zui大直徑為160mm樣品。 
●  PZT/Voice Coil雙模式技術(shù)AFM 
●  全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 
●  批處理軟件，自動(dòng)圖像拼接縫合技術(shù)，可以測(cè)量超大樣品的三維形貌像 
●  *的32-bit DSP控制器，反饋技術(shù)(掃描范圍>10um時(shí)zui高掃描20 Hz,消除爬行現(xiàn)象) 
●  可以進(jìn)行納米壓痕和劃痕實(shí)驗(yàn) 
●  光學(xué)系統(tǒng)， XY閉環(huán)掃描技術(shù) 
●  *開(kāi)放性軟硬件構(gòu)架設(shè)計(jì), 并開(kāi)放所有源代碼供您的二次開(kāi)發(fā)

主要特點(diǎn)：

● 原子力顯微鏡掃描器zui大測(cè)量范圍：110um X & Y range，22um Z range

● 大尺寸樣品臺(tái)，全自動(dòng)測(cè)量zui大直徑為160mm樣品。

● PZT/Voice Coil雙模式技術(shù)AFM

● 全自動(dòng)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

● 批處理軟件，自動(dòng)圖像拼接縫合技術(shù)，可以測(cè)量超大樣品的三維形貌像

● *的32-bit DSP控制器，反饋技術(shù)(掃描范圍>10um時(shí)zui高掃描20 Hz,消除爬行現(xiàn)象)

● 可以進(jìn)行納米壓痕和劃痕實(shí)驗(yàn)

● 光學(xué)系統(tǒng)， XY閉環(huán)掃描技術(shù)

● *開(kāi)放性軟硬件構(gòu)架設(shè)計(jì), 并開(kāi)放所有源代碼供您的二次開(kāi)發(fā)