詳細(xì)介紹
大晃開(kāi)發(fā)的*形狀的螺桿(),它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣,真空度可達(dá)到10-1Pa,它可稱(chēng)為是劃時(shí)代的干式真空泵。 單級(jí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
排気速度 : 1000~78000 L/min
到達(dá)真空度 : 10-1 Pa
口 徑 : Φ40~ Φ200 mm