工作原理:
1.主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，*放電形式產(chǎn)生高濃度離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的高能電子能在毫秒級的時(shí)間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強(qiáng)度、高能量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機(jī)廢氣中的分子碰撞時(shí)會(huì)發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。
2.活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細(xì)菌中的核酸，蛋白質(zhì)，使其不能進(jìn)行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態(tài)氧能迅速將有機(jī)廢氣分子等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，同時(shí)產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，zui后生成無害產(chǎn)物。
等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基團(tuán)
(3) 活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱

采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質(zhì)時(shí)，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨?duì)畹母吣茈x子與介質(zhì)內(nèi)分子（原理）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發(fā)生各類型的化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。

設(shè)備特點(diǎn):
與目前國內(nèi)常用的異味氣體治理方法相比較，等離子體工業(yè)廢氣處理技術(shù)具有以下特點(diǎn)：
1.技術(shù)，工藝簡潔：開機(jī)后，即自行運(yùn)轉(zhuǎn)，受工況限制非常少，無需專人操作。
2.節(jié)能：無機(jī)械設(shè)備，空氣阻力小，耗電量約為0.0001kw/m3廢氣。
3. 設(shè)備使用壽命長：本設(shè)備由不銹鋼材，銅材、鉬材、環(huán)氧樹脂等材料組成，抗氧化，采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問題。
4.結(jié)構(gòu)簡單：只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費(fèi)。無機(jī)械設(shè)備，故障率低，維修容易。
應(yīng)用領(lǐng)域:
煉油廠、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉(zhuǎn)運(yùn)站等惡臭氣體的脫臭凈化處理。