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濱正紅定制硅片清洗花籃PFA芯片晶圓清洗架

PFA花籃 / 清洗花藍(lán) / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒為為承載半導(dǎo)體晶圓片/硅片的容器，可依照客戶需求設(shè)計，全氟烷氧基材質(zhì)有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性，耐高溫200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導(dǎo)體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。
進入化學(xué)酸、堿蝕刻制程中，鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用

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材質(zhì)	耐溫度	特性	Cassette 應(yīng)用
PFA Cassette 鐵氟龍卡匣	200~220℃	耐強酸強氟酸強堿	酸堿制程中使用
PP Cassette	40~60℃	重量輕，可焊接，缺點易變形。	一般傳輸制程
PEEK Cassette	120℃	硬度高、耐磨，不易變形。
PC Cassette	80~100℃	尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應(yīng)力變形。
PEI Cassette	130~150℃	耐磨、抗靜電性。