特VGT-507RFA無(wú)人機(jī)飛行器電機(jī)馬達(dá)自動(dòng)、智能式超聲波
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VGT-15204FST深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
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訪問(wèn)次數(shù)：304更新時(shí)間：2019-07-27 18:20:58
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。
產(chǎn)品介紹
深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
深圳威固特硅片晶圓超聲波清洗機(jī)
型號(hào)：VGT-15204FST
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、械手或多機(jī)械手組合，實(shí)現(xiàn)工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。
3、自動(dòng)上下料臺(tái)，準(zhǔn)確上卸工件。
4、凈化烘干槽，*的烘干前處理技術(shù)，工作干燥無(wú)水漬。
5、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
6、具備拋動(dòng)清洗功能，保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。
8、全封閉外殼與抽風(fēng)系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
應(yīng)用范圍：
1、爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過(guò)程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污
技術(shù)參數(shù)：
超聲波功率：10.2KW
超聲波頻率：28,40,60KHZ
換能器數(shù)量：204個(gè)
電源電壓：220V
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
硅片晶圓生產(chǎn)清洗工藝中，使用超聲波清洗機(jī)有效去除硅片晶圓表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。清洗硅片晶圓同時(shí)也采用了： 三套獨(dú)立的電腦控制機(jī)械臂自動(dòng)化作業(yè)；第三代技術(shù)，全面完善的防酸防腐措施，保護(hù)到機(jī)器每一個(gè)角落 ；*的硅片干燥前處理技術(shù)，保證硅片干燥不會(huì)有水痕 ；成熟的硅片干燥工藝，多種*技術(shù)集于一身 。
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