智能制造網(wǎng)
詳細介紹
硅片拋光機工作原理：
本系列由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達到拋光的目的。
特點：
1.本系列拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應速度更快、更精確，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；
3.本系列拋光機運行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達到0.0005mm。
硅片拋光機技術(shù)參數(shù)：
型 號 | YM-18A | YM-24A | YM-36A | YM-48A |
|
拋光盤規(guī)格 | φ460*φ140 | φ610*φ200 | φ910*φ300 | φ1220*φ400 |
|
大拋光尺寸 | φ150mm | φ200mm | φ300mm | φ450mm |
|
拋光后平面度 | ±0.5u以內(nèi) | ±0.7u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) | ±1u以內(nèi) |
|
工件平行度（25mm） | ±1u以內(nèi) | ±1.5u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) | ±2u以內(nèi) |
|
工件粗糙度 | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) | 0.4nm以內(nèi) |
|
拋光盤電機功率 | 2.2kw 3相380V | 3.7kw 3相380V | 7.7kw 3相380V | 11kw 3相380V |
|
拋光盤轉(zhuǎn)速 | 0~120rpm | 0~100rpm | 0~80rpm | 0~60rpm |
|
外形尺寸 | 700*1100*1100mm | 950*1200*2200mm | 1200*1400*2300mm | 1500*1700*2400mm |
|
重量 | 800kg | 1200kg | 2500kg | 3500kg |
|
智能制造網(wǎng)