一、集成電路塊用超純水設(shè)備概述

　　隨著電子行業(yè)的迅速發(fā)展，對集成電路塊的生產(chǎn)用水要求也越來越高。集成電路的質(zhì)量越高，對水質(zhì)的要求就越嚴(yán)格。

二、優(yōu)勢說明

　　(1)系統(tǒng)采用新水處理技術(shù)單級RO混床模塊化設(shè)計，嚴(yán)格按新技術(shù)設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)，確保水質(zhì)穩(wěn)定，*運行。

　　(2)通過專業(yè)技術(shù)設(shè)計，確保系統(tǒng)短時停機(jī)及長時間停機(jī)時水質(zhì)保持穩(wěn)定。

　　(3)通過專業(yè)技術(shù)保證終端出水恒壓、水質(zhì)穩(wěn)定。

　　(4)通過完善的技術(shù)，*限度的提高系統(tǒng)回收率，降低能耗和運行成本。

　　(5)采用CPA3-LD超低壓膜，運行穩(wěn)定，能耗低。

　　(6)采用PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

　　(7)配備專門的有化學(xué)清洗系統(tǒng)，可定期對反滲透進(jìn)行化學(xué)清洗，以確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行。

　　(8)配備濃水置換專業(yè)技術(shù)，防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。

　　(9)采用PLC加觸摸屏控制系統(tǒng)，并采用進(jìn)口電氣原件，操作方便，運行穩(wěn)定。

　　(10)主題材料全部采用行業(yè)內(nèi)，保質(zhì)保量，并按配置設(shè)計。

　　三、各部件功用

　　1)、原水箱，功用：貯存系統(tǒng)原水，對進(jìn)水起調(diào)節(jié)作用，也對進(jìn)水中的雜質(zhì)起一定的沉淀作用。

　　2)、砂濾器，功用：初步去除水中泥沙、雜質(zhì)、懸浮物以及其它微粒等降低水的濁度。

　　3)、碳濾器，功用：利用碳的吸附原理吸附水中異色、異味、余氯等。

　　4)、保安過濾器，功用：防止大顆粒雜質(zhì)進(jìn)入反滲透膜，造成對膜的損壞，保護(hù)反滲透膜。

　　5)、PH調(diào)節(jié),功用：通過加堿調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)二級反滲透進(jìn)水PH值在8左右，以脫除CO2，保證二級反滲產(chǎn)水水質(zhì)，確保EDI產(chǎn)水及終端產(chǎn)水的穩(wěn)定。

　　6)、一級純水箱，功用：儲存反滲透產(chǎn)水，為二級反滲透系統(tǒng)提供水源。

　　7)、雙級反滲透主機(jī)，功用：主要是通過反滲透過濾，達(dá)到生產(chǎn)純水之目的(二級反滲透能*程度確保產(chǎn)水水質(zhì)，使EDI產(chǎn)水水質(zhì)更穩(wěn)定及核能樹脂的使用壽命更長)。

　　8)、CEDI系統(tǒng)，功用：CEDI系統(tǒng)又稱連續(xù)電除鹽技術(shù)，通過陽陰離子膜對陽陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現(xiàn)水中離子的定向遷移，從而達(dá)到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產(chǎn)生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進(jìn)行連續(xù)再生。

　　9)、紫外線殺菌器，功用：通過紫外線殺死水中細(xì)菌，確保水質(zhì)。

　　10)、膜濾器功用，功用，濾除紫外線殺死的細(xì)菌及其它微粒。

　　11)、雙級核能混床，功用：進(jìn)一步去除水中的離子，使產(chǎn)水水質(zhì)達(dá)到18MΩ·CM。

　　12)、TOC脫除器，功用：脫除水中的TOC，確保水質(zhì)。

　　13)、終端0.1μm膜濾器，功用：杜絕有顆粒物時入超純水使用點。

　　四、集成電路塊用超純水設(shè)備的工藝流程

　　1、采用雙級級反滲透方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→*級反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

　　2、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點