詳細(xì)介紹
50t/h電子級高純水設(shè)備采用目前*技術(shù),全膜法制取高純水,水質(zhì)穩(wěn)定18兆歐以上,具有自動化程度高,設(shè)備集成程度高,綠色無污染,操作維護簡便等特點。
■50t/h電子級高純水設(shè)備主要用途:
※電子線路板生產(chǎn)制造用高純水設(shè)備;
※半導(dǎo)體芯片晶元清洗用純水設(shè)備;
※太陽能光伏(硅粉生產(chǎn)、單晶多晶生產(chǎn)、石英坩堝、多晶硅方舟、太陽能電池片生產(chǎn))用電子級高純水設(shè)備
※鋰電池新能源材料生產(chǎn)用去離子水設(shè)備
※納米和高純度電子級材料生產(chǎn)用超純水設(shè)備
統(tǒng)處理工藝流程圖
原水→原水箱→原水增壓泵→超濾膜系統(tǒng)→凈水箱→增壓泵→阻垢劑加藥系統(tǒng)/還原劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→高壓泵1→反滲透裝置1(一級二段)→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→EDI電除鹽系統(tǒng)→EDI高純水箱→高純水輸送泵→拋光混床→TOC去除器→精密過濾器→用水點
注:本系統(tǒng)采用目前較*的處理工藝,主要有四個部分組成,預(yù)處理系統(tǒng)、二級反滲透主機系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng);
原水采用自來水通過增壓泵增壓進入超濾系統(tǒng),去除水中的懸浮物、膠體等,配套有還原劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng),可有效降低水中渾濁度,防止反滲透膜的結(jié)垢,提高反滲透膜的使用壽命;
二級反滲透系統(tǒng)采用目前*的美國陶氏或海德能品牌反滲透膜技術(shù),自動制膜技術(shù)有效保證每支膜的水處理性能。一級反滲透采用CPA3型號的反滲透膜,該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小,抗污染性能,膜的脫鹽率可以達到99.7%;二級反滲透膜采用BW30-400系列膜,該膜廣泛使用二級反滲透系統(tǒng)中,相對于其它膜在二級中具有更好的脫鹽效率。二級反滲透出水水質(zhì)電導(dǎo)率可以達到5微西門子以下;
EDI電除鹽系統(tǒng)采用美國QUA雙電壓模塊,EDI作為綠色脫鹽模式,具有以下優(yōu)點:占地面積省、運行成本低、系統(tǒng)設(shè)計簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、安裝維修簡便、綠色環(huán)保,不需要酸堿再生、可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。EDI出水電阻率可以達到15~17兆歐;
拋光混床系統(tǒng)采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級樹脂,拋光混床作為制取超純水的核心部件,經(jīng)處理后出水可以達到18兆歐以上,滿足微電子行業(yè)用水要求;
系統(tǒng)中電氣控制情況
本設(shè)備采用觸摸屏PLC控制,系統(tǒng)中各工藝點的運行情況,在觸摸屏中都有所設(shè)計,系統(tǒng)故障有報警及指示功能,可以通過觸摸屏直觀的了解設(shè)備運行情況、故障分析;
該設(shè)備中的水箱和水泵均設(shè)計有液位連動控制,可以實現(xiàn)系統(tǒng)無人值守;
高壓泵均設(shè)計有壓力保護裝置;
系統(tǒng)中的高純水電阻率儀有報警和信號輸出功能,在水質(zhì)達不到設(shè)定要求自動報警。