系統(tǒng)處理工藝流程圖

原水→原水箱→增壓泵→全自動盤式過濾器→保安過濾器→超濾系統(tǒng)→超濾水箱→增壓泵→阻垢劑加藥系統(tǒng)/還原劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→高壓泵1→反滲透裝置1→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→精密過濾器→EDI電除鹽系統(tǒng)→EDI高純水箱→輸送泵→拋光混床→TOC去除器→精密過濾器→用水點

注：本系統(tǒng)采用目前較*的處理工藝，主要有四個部分組成，預處理系統(tǒng)、二級反滲透主機系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng)；

原水采用自來水通過增壓泵增壓進入石英砂過濾器、活性炭過濾器和軟化器過濾，去除水中的懸浮物、膠體、有機物及余氯，配套有絮凝劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng)，可有效降低水中渾濁度，防止反滲透膜的結(jié)垢，提高反滲透膜的使用壽命；

電子級25t/h高純水設備采用目前*的美國陶氏反滲透膜技術(shù)，自動制膜技術(shù)有效保證每支膜的水處理性能。一級反滲透采用BW30-400型號的反滲透膜，該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小，抗污染性能，膜的脫鹽率可以達到99.7%；二級反滲透膜采用BW30-365系列膜，該膜廣泛使用二級反滲透系統(tǒng)中，相對于其它膜在二級中具有更好的脫鹽效率。二級反滲透出水水質(zhì)電導率可以達到4微西門子以下；

電子級25t/h高純水設備采用*西門子模塊，EDI作為綠色脫鹽模式，具有以下優(yōu)點：占地面積省、運行成本低、系統(tǒng)設計簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、安裝維修簡便、綠色環(huán)保，不需要酸堿再生、可實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。EDI出水電阻率可以達到15~17兆歐；

拋光混床系統(tǒng)采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級樹脂，拋光混床作為制取超純水的核心部件，經(jīng)處理后出水可以達到18兆歐以上，滿足微電子行業(yè)用水要求；