微電子產(chǎn)品用高純水設(shè)備說明

    為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級(jí)的污染，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國(guó)家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等。

    系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測(cè)控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時(shí)在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價(jià)比和設(shè)備可靠性。

    執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：嚴(yán)格執(zhí)行現(xiàn)行的各種水處理標(biāo)準(zhǔn)（生活飲用水標(biāo)準(zhǔn)、實(shí)驗(yàn)室用水標(biāo)準(zhǔn)、電子工業(yè)部高純水標(biāo)準(zhǔn)等），不斷的在工藝設(shè)計(jì)和材料選擇上進(jìn)行改進(jìn)，以滿足先行的各種標(biāo)準(zhǔn)。

組成：

　　1、預(yù)處理系統(tǒng)

　　反滲透進(jìn)水中含有的難溶鹽及相關(guān)成分達(dá)到下表中所列的濃度時(shí)，均應(yīng)在預(yù)處理中采取相應(yīng)措施，以防止反滲透膜結(jié)垢，預(yù)處理功能強(qiáng)大，自保護(hù)好，對(duì)各類雜質(zhì)去除效率也較高。

　　2、反滲透系統(tǒng)

　　采用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口RO膜。具有*篩分作用，它的性能極其穩(wěn)定，在系統(tǒng)既定壓力下，只能透水而不透過溶質(zhì)。因此，能精密濾除水中的細(xì)菌、病毒、鹽類及各種致癌物質(zhì)。脫鹽率≥99%。反滲透系統(tǒng)具備自動(dòng)清洗功能，有效預(yù)防反滲透膜結(jié)垢堵塞，保證其持續(xù)高效的運(yùn)行。

　　3、混床系統(tǒng)

　　采用極優(yōu)質(zhì)核子級(jí)拋光混床四柱樹脂。超純化處理系統(tǒng)的設(shè)置，使得水中離子被全部除去。通過該系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)電阻率*可達(dá)到18、2兆歐/厘米，已足以滿足不同實(shí)驗(yàn)基本應(yīng)用的要求。

　　4、紫外消毒

　　采用特殊光源雙波長(zhǎng)紫外燈。因其的性能，超純水在該紫外燈內(nèi)再經(jīng)過6道循環(huán)處理過程，既*除滅了殘余的細(xì)菌，又*降解了殘留的痕量有機(jī)物。

微電子產(chǎn)品用高純水設(shè)備工藝流程：

　　1、預(yù)處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-用水點(diǎn)

　　2、 預(yù)處理-一級(jí)反滲透-二級(jí)反滲透-純化水箱-紫外燈-用水點(diǎn)

　　3、預(yù)處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-紫外燈-用水點(diǎn)

　　4、預(yù)處理→紫外線殺菌裝置→一級(jí)RO裝置→二級(jí)RO裝置→中間水箱→EDI裝置→拋光混床→用水點(diǎn)