產(chǎn)品信息
Magma磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱Magma）是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套獨(dú)\特的傳感器和技術(shù)，可以檢測(cè)和定位所有靜態(tài)缺陷。
Magma具有極大的可靠性，適用于探測(cè)開(kāi)路、短路、漏電和高電阻開(kāi)路的位置。此外，磁場(chǎng)成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多層器件。
在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域，Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷（短路、漏電和開(kāi)路）。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、最/終封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件，包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。
新型平臺(tái)的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入，以提供用戶友好型的設(shè)置和操作，以及更高的工作量和更低的運(yùn)營(yíng)成本。
基礎(chǔ)配置：配備高靈敏度的SQUID傳感器，用于低電流、無(wú)損檢測(cè)短路、漏電和高電阻開(kāi)路。可實(shí)現(xiàn)低成本定位，用于檢測(cè)封裝器件和PC板中的短路及漏電。
EFI工具：能夠以極\高的精確度檢測(cè)失效的開(kāi)路故障。
HiRes工具：將兩個(gè)傳感器組合成一個(gè)工具。在靠近電流掃描時(shí)，SQUID傳感器用于檢測(cè)盡可能最小的電流，磁阻傳感器用于獲得較好的空間分辨率。因此，其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn)：空間定位和靈敏度。
技術(shù)參數(shù)
特點(diǎn) | 詳情 |
SQUID 傳感器 |
短路缺陷定位(SQUID) | 3um |
空間分辨率 (SQUID) | 2um |
總掃描面積 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
當(dāng)前靈敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作頻率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 傳感器 |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空間分辨率 (HiRes) | 500nm |
總掃描面積 (HiRes) | At least 100mm by 100mm |
當(dāng)前靈敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作頻率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
Opens斷路 |
斷路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作頻率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他參數(shù) |
功能發(fā)電機(jī) | ±10V @ 100mA |
功能發(fā)電機(jī)頻率 | DC to 200kHz |
鏡頭分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
電源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系統(tǒng) | Windows 10 64-bit |
產(chǎn)品應(yīng)用
該儀器是檢測(cè)模具、封裝或PC板水平上所\有類型靜態(tài)缺陷(短路、泄漏、高電阻開(kāi)啟和斷路開(kāi)啟)的很好的工具。該儀器結(jié)合了兩個(gè)傳感器的功能，實(shí)現(xiàn)了很好的靈敏度和亞微米的分辨率的統(tǒng)一。這允許單個(gè)系統(tǒng)可以處理任\何類型的設(shè)備和任\何類型的靜態(tài)缺陷。
1.解決了所\有的靜態(tài)缺陷:短路、泄漏和斷路。
2.三維缺陷定位計(jì)算樣本表面到當(dāng)前路徑的距離，當(dāng)直流電跡可用時(shí)，新的軟件能夠在所\有三維重建當(dāng)前路徑。
3.由于磁場(chǎng)滲透所\有材料，SQUID 傳感器可以很自然的發(fā)現(xiàn)封裝短路故障。
4.使用大于500nm空間分辨率的HiRes傳感器定位模具短路。磁場(chǎng)分辨率不受波長(zhǎng)的限制，只受傳感器尺寸和掃描距離的限制。
5.在500nA電流靈敏度下，可以發(fā)現(xiàn)ω電阻的泄漏。
6.使用SDR技術(shù)，在檢測(cè)電流產(chǎn)生的射頻磁場(chǎng)時(shí)，應(yīng)用高頻信號(hào)(20MHz至200MHz)，可以發(fā)現(xiàn)故障。
會(huì)員1.png)
