產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Magma磁場(chǎng)成像顯微鏡系統(tǒng)（簡(jiǎn)稱Magma）是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套獨(dú)\特的傳感器和技術(shù)，可以檢測(cè)和定位所有靜態(tài)缺陷
Magma具有極大的可靠性，適用于探測(cè)開(kāi)路、短路、漏電和高電阻開(kāi)路的位置。此外，磁場(chǎng)成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多層器件
在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域，Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷（短路、漏電和開(kāi)路）。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、最/終封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件，包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。
新型平臺(tái)的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入，以提供用戶友好型的設(shè)置和操作，以及更高的工作量和更低的運(yùn)營(yíng)成本。
基礎(chǔ)配置：配備高靈敏度的SQUID傳感器，用于低電流、無(wú)損檢測(cè)短路、漏電和高電阻開(kāi)路?？蓪?shí)現(xiàn)低成本定位，用于檢測(cè)封裝器件和PC板中的短路及漏電。
EFI工具：能夠以極\高的精確度檢測(cè)失效的開(kāi)路故障。
HiRes工具：將兩個(gè)傳感器組合成一個(gè)工具。在靠近電流掃描時(shí)，SQUID傳感器用于檢測(cè)盡可能最小的電流，磁阻傳感器用于獲得較好的空間分辨率。因此，其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn)：空間定位和靈敏度。
儀器參數(shù)
特點(diǎn) | 詳情 |
SQUID 傳感器 |
短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
空間分辨率 (SQUID) | 2um |
總掃描面積 (SQUID) | At least 100mm by 100mm |
當(dāng)前靈敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度(SQUID) | 10mm |
工作頻率 (SQUID) | DC to 25kHz |
Opens 斷路 |
斷路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作頻率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他參數(shù) |
功能發(fā)電機(jī) | ±10V @ 100mA |
功能發(fā)電機(jī)頻率 | DC to 200kHz |
鏡頭分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
電源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系統(tǒng) | Windows 10 64-bit |
產(chǎn)品應(yīng)用
1、該儀器可以完整的包檢測(cè)所\有類型的靜態(tài)缺陷(短路，泄漏，高電阻斷路)或PC板水平(模具水平缺陷)。EFI系統(tǒng)擴(kuò)展了SSM系統(tǒng)的功能，增加了一種SDR技術(shù)。這種技術(shù)使用設(shè)備內(nèi)部的射頻(RF)駐波來(lái)定位從PC板到堆疊設(shè)備和多芯片模塊的設(shè)備中的缺陷。
2、Magma EFI還具備了Magma SSM工具的所\有功能。Magma EFI工具利用一種超導(dǎo)量子干涉裝置(SQUID)來(lái)檢測(cè)只\需要納安培電流的設(shè)備中的電流。這些電流被組合成一幅圖像，可與光學(xué)基準(zhǔn)和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)一起用于定位三維靜態(tài)缺陷。
3、這種成像是無(wú)損的。由于在典型設(shè)備中使用的大多數(shù)材料都有磁場(chǎng)滲透，所以不需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行任\何方式的反處理就可以開(kāi)始定位故障。此外，使用如\此\小的電流可以保護(hù)被測(cè)設(shè)備免受進(jìn)一步的損壞，并且可能是在嘗試檢測(cè)具有非常高電阻(100k ω)的電路故障時(shí)的唯\一選擇?？梢杂肊FI工具分析的典型故障包括短路、泄漏、電阻斷路。該系統(tǒng)可用于成像交流和/或直流磁場(chǎng)(同樣，電流)取決于設(shè)備的要求。
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