產(chǎn)品簡介
Magma磁場成像顯微鏡系統(tǒng)（簡稱Magma）是Neocera Magma公司研發(fā)的一種新型半導(dǎo)體失效分析工具。它擁有一套獨(dú)\特的傳感器和技術(shù)，可以檢測和定位所有靜態(tài)缺陷
Magma具有極大的可靠性，適用于探測開路、短路、漏電和高電阻開路的位置。此外，磁場成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多層器件
在半導(dǎo)體失效分析領(lǐng)域，Magma可以定位微電子系統(tǒng)中的所有靜態(tài)缺陷（短路、漏電和開路）。它可以容納Die-level互連的300毫米晶圓、最/終封裝的PC板、以及所有類型的封裝器件，包括各種具有異質(zhì)集成的多芯片模塊器件、疊層器件、3DICs和SiP。
新型平臺的設(shè)計(jì)使用了終端用戶的輸入，以提供用戶友好型的設(shè)置和操作，以及更高的工作量和更低的運(yùn)營成本。
基礎(chǔ)配置：配備高靈敏度的SQUID傳感器，用于低電流、無損檢測短路、漏電和高電阻開路?？蓪?shí)現(xiàn)低成本定位，用于檢測封裝器件和PC板中的短路及漏電。
EFI工具：能夠以極\高的精確度檢測失效的開路故障。
HiRes工具：將兩個(gè)傳感器組合成一個(gè)工具。在靠近電流掃描時(shí)，SQUID傳感器用于檢測盡可能最小的電流，磁阻傳感器用于獲得絕\對\最\佳的空間分辨率。因此，其具有兩方面的優(yōu)點(diǎn)：世\界\級的空間定位和靈敏度。
儀器參數(shù)
特點(diǎn) | 詳情 |
SQUID 傳感器 |
短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
空間分辨率 (SQUID) | 2um |
總掃描面積 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
當(dāng)前靈敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作頻率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 傳感器 |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空間分辨率 (HiRes) | 500nm |
總掃描面積 (HiRes) | 至少 100mm by 100mm |
當(dāng)前靈敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作頻率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
其他參數(shù) |
功能發(fā)電機(jī) | ±10V @ 100mA |
功能發(fā)電機(jī)頻率 | DC to 200kHz |
鏡頭分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
電源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系統(tǒng) | Windows 10 64-bit |
產(chǎn)品應(yīng)用
1、該儀器是一種雙磁傳感器系統(tǒng)，可以將SSM工具的性能擴(kuò)展到模具(可以是全晶片，也可以是復(fù)雜的3D TSV或線焊設(shè)備)。該儀器使用非破壞性技術(shù)在模具、封裝和PC板層面創(chuàng)建設(shè)備當(dāng)前圖像。然后，當(dāng)前圖像可以與光學(xué)基準(zhǔn)和設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)結(jié)合使用，以定位三維靜態(tài)缺陷。
2、該儀器將超導(dǎo)量子干涉器件傳感器(SQUID)的靈敏度與高分辨率磁阻傳感器相結(jié)合。采用兩步方法，通過SQUID可以非?？焖俚赜成湓O(shè)備內(nèi)部電流產(chǎn)生的磁場，然后通過高分辨率傳感器再次進(jìn)行高精度和分辨率的映射。由于在典型設(shè)備中使用的大多數(shù)材料都有磁場滲透，所以不需要對設(shè)備進(jìn)行任何方式的反處理就可以開始定位故障。
3、此外，兩個(gè)傳感器均只需要很小的電流，這樣可以保護(hù)被測設(shè)備免受進(jìn)一步的損壞，并且可能是在嘗試檢測具有非常高電阻(100k ω)的電路故障時(shí)的唯\一選擇。
4、該儀器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和電阻斷路。該系統(tǒng)可用于成像交流和/或直流磁場(同樣，電流)取決于設(shè)備的要求。
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