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      行業(yè)產(chǎn)品
      
							
						
      
						
        
							
      • 行業(yè)產(chǎn)品
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      北京正通遠恒科技有限公司
                                
                
                
      

							
      
                        			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
      
            
      
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      Attolight CL-SEM系統(tǒng) Santis 300 中文樣本
      
						
      閱讀：86發(fā)布時間：2023-03-13
      
					
      
					
      
						
        
							
      • 提供商
        北京正通遠恒科技有限公司
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      S?ntis 300系統(tǒng)設(shè)計用于150、200和300 mm晶圓的全自動缺陷檢測。Attolight的定量CL-SEM提供“不折不扣"的大視場快速掃描，同時采集SEM圖像、高光譜CL圖和光譜。較小直徑的晶圓或其他形狀的襯底通過手動加載到中間300 mm的夾持器上，隨后由系統(tǒng)自動處理。
      
				
      
			
      
			
      
		
      
	
      
	
	
      
		
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